Проведены исследование взаимодействия монокристаллических пластин PbTe и твердых растворов Pb1-xSnxTe с бромвыделяющими травителями (H2O2 - HBr - этиленгликоль)/этиленгликоль (ЭГ), разработка и оптимизация травильных композиций, а также методик их химической обработки для формирования высококачественной поверхности. Изучены зависимости скоростей химико-механического (ХМП) и химико-динамического (ХДП) полирования от разбавления базового полирующего травителя органическим компонентом. Определен характер растворения исследуемых материалов в растворах (H2O2 - HBr - ЭГ)/ЭГ, построены графические зависимости "состав травителя-скорость травления" и установлены концентрационные границы областей полирующих и неполирующих растворов. Показано, что увеличение количества ЭГ в составе травильной смеси уменьшает скорость травления (ХМП) полупроводниковых подложек PbTe и твердых растворов Pb1-xSnxTe от 185,0 до 23,0 мкм/мин и улучшает полирующие свойства травильных композиций H2O2 - HBr - ЭГ. Минимальные значения скоростей травления достигаются при максимальном насыщении смеси органическим компонентом (60 об. %). С помощью микроструктурного и профилографического анализов установлено влияние количественного и качественного состава травителей, а также способов химической обработки на параметры шероховатости поверхностей PbTe и твердых растворов Pb1-xSnxTe. Установлено, что ХМП монокристаллических полупроводников растворами состава H2O2 - HBr - ЭГ способствует уменьшению структурных нарушений подложек и получению качественной полированной поверхности. Оптимизированы составы полирующих травильных композиций (H2O2 - HBr - ЭГ)/ЭГ и технологические режимы ХМП и ХДП для снятия нарушенного слоя, быстро контролированного утонения пластины до заданной толщины, снятия тонких пленок и финитного полирования поверхности, монокристаллических образцов PbTe и твердых растворов Pb1-xSnxTe.

• Маланич Галина Петрівна (хімічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"