Зубарев Е. Н. Взрывная кристаллизация пленок аморфного кобальта на подслое углерода / Е. Н. Зубарев, А. Ю. Девизенко, В. В. Кондратенко, Д. В. Севрюков, В. А. Севрюкова, А. С. Гарбуз, Т. М. Сабов, А. В. Дубиковский, А. С. Оберемок, В. П. Мельник // Металлофизика и новейшие технологии. - 2018. - 40, № 3. - С. 359-379. - Библиогр.: 32 назв. - рус.С помощью методов просвечивающей электронной микроскопии, электронной дифракции, малоугловой рентгеновской дифракции и вторичной ионной масс-спектрометрии исследован механизм взрывной кристаллизации аморфных пленок кобальта, выращенных на аморфном углероде по методу магнетронного (на постоянном токе) распыления. Установлено, что работающий C-магнетрон во время осаждения слоя кобальта, а также уменьшение скорости осаждения кобальта приводят к увеличению номинальной толщины кобальтового слоя tCo,ном, при которой он находится в аморфно-кластерном состоянии с небольшой долей нанокристаллической фазы кобальта. Увеличение номинальной толщины кобальта до граничной <$Et sub гр ~symbol @~5,0> нм приводит к возникновению кристаллических областей, характерных как для обычной кристаллизации (зерен с дефектами упаковки), так и обширных областей с осью зоны [0001], характерных для взрывной кристаллизации (без дефектов упаковки). Увеличение номинальной толщины существования аморфно-кластерной фазы до критической <$Et sub кр ~symbol @~6,0> нм сопровождается кристаллизаций кобальта по механизму взрывной кристаллизации, в результате которой образуется высокотекстурированная пленка ГПУ-Co с осью [0001], перпендикулярной к подложке. Індекс рубрикатора НБУВ: К232.302.6 + К35
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|