Експериментально досліджено характеристики кремнієвих дифузійних p-n переходів як сенсорів парів води і аміаку в широкому діапазоні значень градієнта концентрації домішок а. Встановлено, що зменшення величини а від <$E6~cdot~10 sup 23> см<^>-4 до <$E5~cdot~10 sup 19> см<^>-4 знижує поріг чутливості Ря />л структур до парів NH2 (тобто, мінімальний парціальний тиск парів, який можна зареєструвати) на два порядки, до значень біля 0,5 Па. Ця величина значно нижча, ніж у мембран із мезопористого кремнію і кремнієвих нанодротів, виготовлених із пластин з концентрацією домішки бору 10<^>18 см<^>-3. Розкид порогу чутливості серед досліджених зразків пояснено впливом неконтрольованнх поверхневих центрів. Обробка зразків послідовно у HF і воді різко підвищує поріг чутливості, а витримка у водному розчині Na2S значно знижує його.

• Птащенко Федір Олександрович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"