Орлов А. К. Структура плівок ванадію на підкладинках SiO2(001), MgO(100), Al2O3(0001), SrTiO3(100) та особливості їх термічного окиснення / А. К. Орлов, І. О. Круглов, С. М. Волошко, І. Є. Котенко, С. І. Сидоренко, Т. Ішикава // Metallophysics and Advanced Technologies. - 2018. - 40, № 6. - С. 777-794. - Бібліогр.: 47 назв. - укp.Досліджено структуру тонких плівок ванадію на різних монокристалічних підкладинках V(25 нм)/SiO2(001), V(25 нм)/MgO(100), V(25 нм)/Al2O3(0001), V(25 нм)/SrTiO3(100) у вихідному стані та за відпалу до температури у <$E600~symbol Р roman C> у вакуумі 10<^>-3 Па. Із використанням синхротронного випромінення (RIKEN SPring-8 Center) виявлено переважну орієнтацію зерен у напрямку [110] для плівки на підкладинці SrTiO3(100) із періодом кристалічної гратниці у <$E3,024~roman A back 45 up 35 symbol Р>, який відповідає масивному стану, і розміром областей когерентного розсіяння порядку 11 нм. У вихідному стані ступінь окиснення приповерхневих шарів визначається далекосяжним впливом структури перехідного шару на межі поділу підкладинка/плівка. Ця структура залежить як від типу кристалічних гратниць плівки та підкладинки, так і від ступеня невідповідності між ними. У випадку аморфної структури перехідного шару процеси окиснення гальмуються. Інтенсивність початкових стадій окиснення впродовж відпалу також залежить від вихідної структури плівок ванадію. Якщо формується текстура у напрямку, перпендикулярному до зовнішньої поверхні, повздовжні канали із меж зерен і потрійних стиків меж зерен стають домінувальними шляхами пришвидшеної дифузії Оксигену. За порогового значення температури у <$E350~symbol Р roman C> розпочинається процес трансформації кристалічної гратниці ванадію з ОЦК у моноклінну. Обговорено можливість формування впорядкованого твердого розчину заміщення атомів Оксигену в гратниці ванадію. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.235 + В378.26
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|