Сканівний акустичний мікроскоп (CAM) є потужнім новим інструментом для дослідження та визначення механічних властивостей матеріалів, особливо непрозорих. САМ надає змогу проводити неруйнівні дослідження матеріалів як поблизу поверхні, так і на деякій віддалі від неї углиб зразка. Робота стосується вивчення впливу відпалу на механічні властивості зразків, що складаються з шару Al (10 мкм) на підложжі з Si. Поєднуючи результати, одержані з так званої акустичної сиінатури й акустичних зображень інтерфейсу Al/Si з використанням поперечних і поздовжніх хвиль (Релейових швидкостей), можна зробити висновок, що найліпша гомогенна адгезія реалізується після відпалу за <$E500~symbol Р roman C>.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"