Досліджено механізми струмоперенесення та формування омічних контактів до n<^>+-InN із рівнями легування 2 x 10<^>18, 8 x 10<^>18 і 4 x 10<^>19 см<^>-3. Омічні контакти Pd/Ti/Au були сформовані в процесі магнетронного напилення металу за одночасного використання температурної обробки, що надало можливість отримати низький питомий контактний опір <$E (4,20~symbol С~2,67)~cdot~10 sup -6> Ом-см<^>2. Для покращання властивостей отриманих омічних контактів підтверджено можливість використання додаткових швидких термічних обробок в інтервалі температур 350 - 400 <^>oC, при цьому оптимальні параметри температурної обробки визначено за допомогою статистичного аналізу даних. Щодо встановлення механізму струмоперенесення через інтерфейс "метал - InN", спостерігалося нетипове зростання питомого контактного опору в широкому діапазоні температур 4,2 - 380 K у випадках усіх досліджених рівнів легування плівок InN. Пояснено механізм струмоперенесення на основі протікання струму через металеві шунти, спряжені з дислокаціями в плівках InN. Аналітично оцінеіо значення густини провідних металевих шунтів на основі модельних уявлень добре узгоджуються з експериментальними значеннями густин гвинтових і краєвих дислокацій, експериментально отриманих за допомогою високороздільної рентгенівської дифракції. З отриманих температурних залежностей питомого контактного опору зроблено висновки про тип металу, який проникає в дислокації і формує металеві шунти.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Бут Дмитро Борисович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"