Наведено результати щодо взаємодії плівки оксиду алюмінію, нанесеної на технічно чистий титан марки ВТ1-0 методом магнетронного реактивного напилення, з атмосферою, яка містить водень. Необхідність проведення таких досліджень полягає в пошуку захисних покриттів, що перешкоджають проникненню водню у виріб. Дана система витримувалась у водневій атмосфері в інтервалі від 1 - 4 год, за тиску 2 x 10<^>5 Па (2 атм) і температури T = 400 <^>oC. Отримано дані щодо розподілу водню по товщині плівки і його вмісту в тонкоплівковій системі. Показано, що водень проникає в плівку і накопичується в ній аж до третьої години, і лише після починає проникати в підложку. Вдалося збільшити час витримки у воденьмісткому середовищі і збільшити температуру нагрівання до стадії руйнування плівки. У разі вихідної плівки і після витримки протягом від 1 до 3 год сила зчеплення плівки з підложкою зростає, очевидно, за рахунок утворення водневих зв'язків плівка - підложка. Адсорбція атомів водню на поверхні плівки Al2O3 супроводжується збільшенням її провідності не більше ніж на 4 % і зі збільшенням часу витримки. Таку зміну провідності плівки Al2O3 можна пояснити на підставі утворення зонної структури. Тонкі оксидні плівки можуть мати суцільну однобічну провідність, в разі ж, якщо плівка є товстою (від 0,5 мкм і вище), то говорити про однорідну провідність не можна. Отримані дані щодо впливу часу витримки у водневій атмосфері вказують на збільшення адгезійної міцності майже до 6 разів протягом 3-х год і 2,5 разу після 4 год. Певний коефіцієнт тертя плівки зростає не більше ніж у 2,5 разу. Вимірюючи електропровідність поверхні плівки, виявлено, що вона зростає в міру збільшення часу витримки у водневій атмосфері. Така закономірність очевидно пов'язана зі створенням переходів p - n-типу в плівці оксиду алюмінію за рахунок іонів водню.

 Наукова періодика України 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"