Коломієць В. М. Створення елементів рентгенівської оптики із застосуванням протонно-променевої літографії / В. М. Коломієць, С. М. Кравченко, І. М. Кононенко, О. Г. Пономарьов, В. А. Ребров, С. В. Колінько // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології : зб. наук. пр.. - 2018. - 16, вип. 4. - С. 645-655. - Бібліогр.: 16 назв. - укp.Метод рентгенівської фазово-контрастної візуалізації як метод дослідження структури об'єктів є надзвичайно перспективним з точки зору практичного застосування, особливо в галузі медицини. Але для реалізації цього методу потрібна значна ступінь когерентности рентгенівського випромінення. Створення Тальботового інтерферометра на основі рентгенівських фазових дифракційних гратниць надає змогу працювати з поліхроматичним випроміненням X-променевої трубки. Це уможливлює уникнення використання дорогого наукового обладнання, наприклад синхротрона, і значно пришвидшує широке застосування цього методу. Зазвичай, модельними фазовими гратницями є гратниці на основі силіцію з гальванічно осадженим золотом, оскільки золото має достатньо високу густину та велике значення масового коефіцієнта поглинання рентгенівського випромінення. Оскільки золото є достатньо коштовним матеріалом, то як поглинальний матеріал можна використовувати бісмут, який значно дешевший і несуттєво погіршує фізикотехнічні характеристики фазових дифракційних гратниць. Запропоновано методику виготовлення гратчастих структур на основі монокристалічного силіцію з поглинальним матеріалом бісмутом за допомогою протонно-променевої літографії. Експонування протонним пучком окремих ділянок зразків з попередньо нанесеним позитивним фоторезистом ПММА є необхідним для проведення наступних етапів процесу виготовлення фазових гратниць - вищавлювання опромінених областей і гальванопластики. В результаті проведених експериментів було одержано дослідні зразки гратчастих структур висотою близько 15 мкм, періодом у 85 мкм та шпаруватістю у 0,4. Для дослідження структури та висоти зразків було використано метод растрової електронної мікроскопії. Індекс рубрикатора НБУВ: Р364.152с03 + К968.7
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж72631 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|