Досліджено вплив складу газової суміші на структуру, хімічні зв'язки та твердість Si - B - C - N-плівок, одержаних методом реакційного на постійному струмі магнетронного розпилення мішені, складеної з кремнієвого диску та пластинок B4C, розміщених в зоні розпилення мішені. Плівки осаджували при 30 - 70 % азоту в Ar/N2 газовій суміші в камері та відпалювали в вакуумі при температурах до 1200 <$E symbol Р>C. Плівки досліджували методами рентгенівської дифракції, рентгенівської фотоелектронної спектроскопії, Фур'є ІЧ-спектроскопії, індентування. Усі осаджені плівки мали аморфну структуру, яка зберігалась при відпалі до 1200 <$E symbol Р>C. Додавання азоту в газову суміш в камері до 60 % привело до підвищення твердості плівок від 13,4 до 17,8 ГПа. Причиною цього є формування "міцних" Si - N, C - N and C = N-зв'язків, а також стискаючих напружень, які виникають при осадженні плівок. При подальшому збільшенні частки азоту в газовій суміші в камері твердість плівок знижувалась. Це явище пов'язане з формування в плівках слабких B - N-зв'язків, а також C - C та C = C-зв'язків, характерних для графітоподібної h-BN і графітової фаз відповідно.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Іващенко Володимир Іванович (1956–) (фізико-математичні науки)
• Козак Андрій Олександрович (фізико-математичні науки)
• Синельниченко Олексій Корнійович (фізико-математичні науки)
• Томила Тамара Василівна (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"