Bordun O. M. Features of deposition and formation of the structure of Y2O3:Eu thin films obtained by radio-frequency sputtering / O. M. Bordun, I. O. Bordun, I. I. Kukharskyi, I. I. Medvid, Zh. Ia. Tsapovska, D. S. Leonov // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології : зб. наук. пр.. - 2019. - 17, вип. 2. - С. 353-360. - Бібліогр.: 14 назв. - англ.Досліджено структуру, морфологію поверхні й особливості нанесення тонких плівок Y2O3:Eu за високочастотного іонно-плазмового розпорошення. Встановлено наявність оптимального тиску робочого газу, величина якого визначається складом газу і геометричними параметрами та за якого швидкість нанесення плівок є максимальною. Досліджено вплив складу робочого газу на швидкість нанесення плівок Y2O3:Eu. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033.057.2
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж72631 Пошук видання у каталогах НБУВ
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|