Завьялова Л. В. Получение и исследование полупроводниковых пленок <$E bold roman {A sup I-VIII B sup VI}> и функциональных структур на их основе; особенности и возможности СVD метода с применением дитиокарбаматов / Л. В. Завьялова, Г. С. Свечников, Н. Н. Рощина, Б. А. Снопок // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника : сб. науч. тр.. - 2018. - Вып. 53. - С. 83-123. - Библиогр.: 109 назв. - рус.Рассмотрены различные аспекты и направления развития разработанного впервые в ИФП НАНУ оригинального химического метода синтеза моно- и мультифазных полупроводниковых материалов - безвакуумного CVD метода получения пленок посредством пиролиза металлокомплексов дитиокарбаматов. Его отличительными особенностями являются возможность получения плёнок бинарных соединений из одного, а не из нескольких прекурсоров, а также возможность выращивать качественные плёнки в атмосфере воздуха. Этим методом получено большой ряд полупроводниковых соединений типа A<^>I-VIIIB<^>VI. Обзор включает в себя начальный период разработки, связанный с поиском прекурсоров, удовлетворяющих требованиям, предъявляемым к технологии и исходным веществам. Рассмотрены различные этапы развития технологии: синтез исходных компонентов, их термоанализ, исследование кинетики роста пленок, получение пленок различных соединений, исследование их структуры, морфологии поверхности, физических, оптических, полупроводниковых свойств, а также получение пленочных структур на их основе. Показано, что на неориентирующих подложках формируются поликристаллические текстурированные пленки с высокой адгезией к подложкам различного типа, а на ориентирующих - высокоориентированные эпитаксиальные пленки. Для метода характерны сравнительно низкие (200 - 350 <$E symbol Р>C) температуры образования пленок и высокие скорости их роста (1 - 20 нм/с), возможность получения пленок в широком диапазоне толщин (от 50 нм до 10 мкм). Подробно обсуждено получение фотопроводящих, люминесцентных, проводящих и резисторных структур, акустоэлектронных элементов и других систем оптоэлектроники. Приведены примеры серийных устройств на основе пленок, изготовленных данным методом. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619 + В379.226
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|