Kaipoldayev O. E. Influence of substrate temperature on the formation of Titanium Carbide film = Вплив температури підкладки на формування плівок карбіду титану / O. E. Kaipoldayev, G. A. Baigarinova, R. R. Nemkayeva, N. R. Guseinov, Y. S. Mukhametkarimov, K. Tauasarov, O. Y. Prikhodko // J. of Nano- and Electronic Physics. - 2019. - 11, № 4. - С. 04003-1-04003-5. - Бібліогр.: 16 назв. - англ.Протягом останніх десятиліть плівки карбіду титану використовуються як матеріали для покриттів. Карбід титану проявляє чудові механічні та хімічні властивості, такі як висока температура плавлення, твердість і гарна хімічна та термічна стабільність. Плівки карбіду титану наносилися на скляні та монокристалічні кремнієві підкладки за методом іонно-плазмового магнетронного розпилення за постійного струму з об'єднаної мішені графіт/титан. Плівки карбіду титану з різними співвідношеннями C/Ti можуть бути нанесені за допомогою методу магнетронного розпилення за постійного струму з використанням титанових листів в області ерозії графітової мішені як джерела твердого вуглецю. Залежно від утворення фази карбіду титану вивчено залежність температури підкладки (150, 250, 350, та <$E450~symbol Р roman C>) за допомогою методу рентгеноструктурного аналізу та раманівської спектроскопії. Зразки досліджено з застосуванням двох різних раманівських спектрометрів: AFM-Raman instrument Solver Spectrum (NT-MDT) з 473 нм лазером і NTegra Spectra (NT-MDT) з 473 і 633 нм лазерами. Стехіометрію осаджених плівок визначено за допомогою енергодисперсійного рентгенівського спектроскопічного аналізу. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.235.6 + В379.226 + В379.247
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|