Тонкие плёнки оксида индия-олова (ОИО), легированные железом со сниженным до 50 % масс. содержанием оксида индия, осаждались на стеклянные подложки, предварительно нагретые при 523 К, путём совместного напыления мишеней ОИО и Fe2O3 в смешанной атмосфере аргон-кислород. Влияние разных мощностей высокочастотного напыления Fe2O3 мишени на электрические, оптические, структурные и морфологические свойства плёнок было исследовано с помощью четырёхточечного метода, ультрафиолетовой - видимой - инфракрасной (УФ - Вид - ИК) спектроскопии, рентгеновской дифракции и атомной силовой спектроскопии. Объёмное сопротивление порядка 930 <$E roman {мкОм~cdot~см}> и пропускание выше 85 % получены для плёнок, осаждённых при оптимальных условиях. Легирование железом приводит к заметному увеличению пропускания света видимой части спектра и повышает температуру кристаллизации тонких плёнок ОИО.

• Сергієнко Руслан Арсенійович (технічні науки)
• Петровська Світлана Степанівна (фізико-математичні науки)
• Ільків Богдан Ігорович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"