Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000720126<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Кузьмичєв А. І. Гібридні системи для електронно-променевого випаровування та іонного розпилення / А. І. Кузьмичєв, А. І. Устінов, О. Е. Руденко, І. М. Дрозд // Сучас. електрометалургія. - 2019. - № 4. - С. 18-25. - Бібліогр.: 8 назв. - укp.Розглянуто гібридні системи для електронно-променевого випаровування (ЕПВ) з іонним асистуванням процесу конденсації випарюваної речовини у вигляді покриття. Наведено систему, в якій іони аргону генерувалися за допомогою магнетронного розряду, створюваного навколо підкладки у вигляді стрижня, що слугує катодом цього розряду. Мета іонного асистування - розпилення поверхні підкладки для фінішної очистки перед нанесенням покриття і бомбардування іонами конденсату під час осадження для іонно-кінетичної дії на структуру покриття. Реалізовано процес нанесення демпферного покриття MgO - Cr - Sn на титанову підкладку методом ЕПВ з асистуванням іонами аргону підкладки за умов відносно низьких температур (200 <^>oC). Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033.057.3
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж24340 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|