Лєбєдєва Т. С. Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів / Т. С. Лєбєдєва, П. Б. Шпильовий, Ю. О. Фролов // Комп'ютер. засоби, мережі та системи : зб. наук. пр.. - 2019. - № 18. - С. 62-69. - Бібліогр.: 11 назв. - укp.Мета роботи - встановлення залежності між режимами осадження плівок алюмінію та їх структурою, а також структурою отримуваних з них плівок пористого анодного оксиду алюмінію (ПАОА). Показано, що структуру плівок алюмінію, отриманих магнетронним осадженням, можна описати як поєднання базової плівки з малою шорсткістю і виступаючих над поверхнею великих зерен. При анодному окисленні таких плівок утворюються два типи пор. Такі покриття з ПАОА є придатними для оптичних сенсорів та біосенсорів, базованих на реєстрації зміни показника заломлення (сенсори на поверхневому плазмонному резонасі, інтерферометричні та хвилеводні сенсори). Індекс рубрикатора НБУВ: З861-03
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж72542 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|