Тонкі плівки номінального складу Al66Cu18Co16 та Al69Co16Ni15 товщиною у 85 - 100 нм, охолоджені зі швидкістю у 10<^>12 - 10<^>14 К/с, було вперше одержано за допомогою методу модернізованого триелектродного йонно-плазмового розпорошення складених мішеней. Плівкові покриття осаджували на підкладинки, виготовлені з натрію хлориду або ситалу. Структуру покриттів аналізували за допомогою рентгеноструктурного аналізу. Електричний опір вимірювали з застосуванням чотирозондового методу. В структурі свіжонапорошених плівок спостерігається рентгеноаморфна фаза та сліди квазікристалічної декагональної D-фази. Області когерентного розсіяння (ОКР) плівок Al66Cu18Co16 та Al69Co16Ni15 дорівнюють 2,8 нм і 3,2 нм відповідно. Зміна електричного опору тонких плівок Al66Cu18Co16 та Al69Co16Ni15 у разі нагріву до температур, відповідно, у 600 К і 640 К має оборотний характер, що вказує на термічну стійкість їх структури. Подальший нагрів до 920 К супроводжується необоротною зміною електричного опору, що спричинено зникненням аморфної фази та появою металевої фази на основі алюмінію в структурі плівок. Після витримки за температури у 923 К протягом 10 хв розміри ОКР D-фази збільшуються у понад двічі та сягають 6,0 - 6,5 нм. У структурі плівок спостерігаються наночастинки квазікристалів в алюмінієвій матриці. Температурний коефіцієнт опору (ТКО), як під час нагріву, так і охолодження, має негативні значення, що підтверджує присутність у структурі плівок квазікристалічної фази. Під час охолодження від температури у 920 К до кімнатної температури ТКО тонкої плівки Al66Cu18Co16 збільшується від <$Esymbol @~-4~cdot~10 sup -4> К<^>-1 до -<$E1,2~cdot~10 sup -5> K<^>-1, а плівки Al69Co16Ni15 - від -<$E5~cdot~10 sup -4> K<^>-1 до -<$E2,4~cdot~10 sup -4> K<^>-1. Це надає змогу рекомендувати тонку плівку Al66Cu18Co16 для виготовлення прецизійних низькоомних тонкоплівкових резисторів.

• Рябцев Сергій Іванович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"