Плівки Cr - Ni - B - C - N було осаджено на кремнієві підкладки за допомогою методу реакційного магнетронного на постійному струмі розпилення одночасно двох мішеней Cr - Ni і B - C в газовій суміші Ar/N2. За допомогою методів рентгенівської дифракції, рентгенівської фотоелектронної спектроскопії, мікроіндентування та трибологічним тестуванням досліджено мікроструктуру, хімічні зв'язки, твердість і трибологічні властивості плівок. Одержані результати показали, що мікроструктура та механічні властивості плівок змінилися за додавання азоту в плівки. Плівки Cr - Ni - B - C - N складалися, як правило, з нанокристалічної фази CrN зі структурою типу NaCl і містили також певну долю кристалічних фаз Ni, Cr2O3 і B2O3, занурених в змішану аморфну фазу. Додавання азоту призвело до підвищення твердості до значення ~ 17 ГПа за <$Eroman F sub {N sub 2}~=~40> см<^>3/хв, а у разі збільшення <$Eroman F sub {N sub 2}> вище 40 см<^>3/хв твердість різко знижувалась. Присутність азоту в структурі плівок призвела до покращання трибологічних властивостей і підвищення адгезії плівок до кремнієвої підкладки.

• Онопрієнко Олексій Олексійович (фізико-математичні науки)
• Іващенко Володимир Іванович (1956–) (фізико-математичні науки)
• Скринський Петро Лукич (технічні науки)
• Козак Андрій Олександрович (фізико-математичні науки)
• Ковальченко Андрій Михайлович (технічні науки)
• Оліфан Олена Ігорівна (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"