Онопрієнко О. О. Вплив азоту на мікроструктуру, твердість і трибологічні властивості плівок Cr - Ni - B - C - N, осаджених магнетронним розпиленням на постійному струмі / О. О. Онопрієнко, В. І. Іващенко, П. Л. Скринський, О. К. Синельніченко, А. О. Козак, А. М. Ковальченко, О. І. Оліфан // Надтверді матеріали. - 2020. - № 2. - С. 24-35. - Бібліогр.: 38 назв. - укp.Плівки Cr - Ni - B - C - N було осаджено на кремнієві підкладки за допомогою методу реакційного магнетронного на постійному струмі розпилення одночасно двох мішеней Cr - Ni і B - C в газовій суміші Ar/N2. За допомогою методів рентгенівської дифракції, рентгенівської фотоелектронної спектроскопії, мікроіндентування та трибологічним тестуванням досліджено мікроструктуру, хімічні зв'язки, твердість і трибологічні властивості плівок. Одержані результати показали, що мікроструктура та механічні властивості плівок змінилися за додавання азоту в плівки. Плівки Cr - Ni - B - C - N складалися, як правило, з нанокристалічної фази CrN зі структурою типу NaCl і містили також певну долю кристалічних фаз Ni, Cr2O3 і B2O3, занурених в змішану аморфну фазу. Додавання азоту призвело до підвищення твердості до значення ~ 17 ГПа за <$Eroman F sub {N sub 2}~=~40> см<^>3/хв, а у разі збільшення <$Eroman F sub {N sub 2}> вище 40 см<^>3/хв твердість різко знижувалась. Присутність азоту в структурі плівок призвела до покращання трибологічних властивостей і підвищення адгезії плівок до кремнієвої підкладки. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.7-18 + В372.6
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|