Вперше запропоновано, розроблено й апробовано метод багатокутової еліпсометрії та процедуру розв'язку оберненої задачі еліпсометрії (ОЗЕ), що дозволило вирішити проблему незалежного визначення товщини та показника заломлення ультратонких прозорих плівок за умов сильного кореляційного зв'язку між шуканими параметрами та суттєво підвищити точність вимірювання. Вперше в межах наближення ефективного середовища для системи ультратонка прозора плівка - прозора підкладка одержано аналітичне співвідношення між показником заломлення прозорої плівки та кутом падіння світлового випромінювання, за якого виконується умова незмінності амплітудного параметра Ѱ після нанесення прозорої плівки. Вперше встановлено лінійну залежність між фазовим еліпсометричним параметром ∆ і товщиною прозорої плівки, за умови проведення еліпсометричних вимірювань за постійного амплітудного параметру Ѱ для плівок з товщиною меншою ніж 20 нм. Вперше запропоновано методи розв'язку ОЗЕ для багатокутової еліпсометрії з використанням інтерференційних ефектів у наближенні ефективного середовища та здійснено їх апробацію на прикладах дослідження планарних хвилеводних структур, приповерхневого перехідного шару на межі поділу між рідким кристалом і твердою підкладкою, а також структурного входження легуючих домішок металів у напівпровідникові плівки. Вперше з використанням моделі на основі скалярної теорії дифракції запропоновано метод розв'язку ОЗЕ для вивчення регулярних поверхневих неоднорідностей з розмірами співмірними з довжиною хвилі оптичного випромінювання. Здійснено адаптацію методу до вимог зображувальної еліпсометрії та його апробацію на прикладі дослідження періодично-форматованої мікроструктури поверхні оптичних дисків. Вперше запропоновано метод розв'язку ОЗЕ за даними спектральної еліпсометрії та здійснено його експериментальну перевірку на прикладі структури тонких плівок золота, нанесених на кварцову та кварц-графенову основу.

• Коструба Андрій Михайлович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"