Кушлик М. О. Деформаційні процеси та дислокаційна електролюмінесценція в приповерхневих шарах кристалів p-Si : автореф. дис. ... канд. фіз.-мат. наук : 01.04.10 / М. О. Кушлик; Львів. нац. ун-т ім. І. Франка. - Львів, 2016. - 22 c. - укp.Встановлено природу дислокаційної люмінесценції світловипромінювальних структур на основі р-Sі. Досліджено перебудову дефектної підсистеми приповерхневого шару цих структур за дії локальної та зовнішньої пружних деформацій, пластичної деформації, та високотемпературного відпалу в атмосфері проточного кисню. Наведено механізми виготовлення й обробки кристалів кремнію в результаті яких досягається висока випромінювальна ефективність світловипромінювальних структур. Показано, що локальна деформація приповерхневого шару кремнію, яка утворюється в результаті невідповідності параметрів гратки матриці та напиленої плівки, здатна гетерувати дефекти та домішки винесені з об'єму кристалу до поверхні дислокаціями. Такі дефекти в сукупності з дислокаціями утворюють складні комплекси, які, в свою чергу, можуть впливати на рекомбінаційні процеси у приповерхневому шарі напівпровідника. Початкова стадія високотемпературного відпалу в атмосфері проточного кисню, тривалістю до 1 год., приводить до зростання концентрації безвипромінювальних центрів рекомбінації. Збільшення часу відпалу супроводжується перерозподілом між без- та випромінювальними переходами на користь останніх. Також даний тип обробки впливає на термостабільність центрів, що відповідальні за D1 та D2 смуги електролюмінесценції в діапазоні температур 77 - 350 К. Встановлено склад та структуру дефектної підсистеми приповерхневого шару кристалів р-Sі, на основі яких виготовлялись світловипромінювальні структури. На базі даних досліджень побудована рекомбінаційна модель для структур на основі кремнію з високою концентрацією дислокацій. Продемонстровано підвищення випромінювальної ефективності методом пружної зовнішньої деформації. Проведено теоретичне та комп'ютерне моделювання процесів перебудови дефектної підсистеми в приповерхневому шарі кремнію та зміни зонної структури кремнію за високих концентрацій дислокацій та пружній деформації. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.24,022 + В374.98,022
Рубрики:
Шифр НБУВ: РА425161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|