Зиков О. В. Генерація і транспортування іонних потоків в плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями : автореф. дис. ... д-ра фіз.-мат. наук : 01.04.08 / О. В. Зиков; Харків. нац. ун-т ім. В.Н. Каразіна. - Харків, 2016. - 36 c. - укp.Досліджено процеси генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими електричними та магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні. Вивчено процеси виникнення й інтегральні характеристики газових розрядів у пристроях з комбінованими електричними (постійним, високочастотним, потенціальним, вихровим) і магнітними (постійним, змінним) полями на базі планарного магнетронного розряду в прискорювальному та плазмовому режимах, ВЧ-індукційного розряду, комбінованих індукційно-ємнісного й індукційно-магнетронного розрядів. Здобуто аналітичні вирази для енергетичної ціни іона та коефіцієнта іонізації для ансамблю електронів з різною функцією розподілу по енергіях і розраховано криві запалювання та пробою трьох типів газового розряду постійного струму в магнітному полі. Експериментально та теоретично доведено зміну рівноважної температури плазмових електронів у планарному магнетронному розряді через існування групи високоенергетичних електронів, густина яких залежить від питомої потужності в розряді. Ця залежність визначає вольтамперну характеристику розряду за низького тиску робочого газу. Експериментально встановлено та теоретично обгрунтовано принципову роль асиметрії електродів у енергобалансі ВЧ індукційно-ємнісного розряду, її вплив на сумарну енергетичну ціну іона й енергетичну ефективність плазмових реакторів і джерел іонів. Визначено енергетично оптимальні співвідношення площ електродів залежно від енергії іонів. Проведено систематизацію процесів генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими ЕН полями на основі дрейфової теорії. Визначено загальні параметри подібності та закономірності іонно-плазмових систем на основі фундаментальних положень фізики газового розряду, низькотемпературної плазми та законів збереження частинок, імпульсу й енергії. Індекс рубрикатора НБУВ: В333.3,022 + В333.63,022
Рубрики:
Шифр НБУВ: РА426386 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|