Досліджено процеси генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими електричними та магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні. Вивчено процеси виникнення й інтегральні характеристики газових розрядів у пристроях з комбінованими електричними (постійним, високочастотним, потенціальним, вихровим) і магнітними (постійним, змінним) полями на базі планарного магнетронного розряду в прискорювальному та плазмовому режимах, ВЧ-індукційного розряду, комбінованих індукційно-ємнісного й індукційно-магнетронного розрядів. Здобуто аналітичні вирази для енергетичної ціни іона та коефіцієнта іонізації для ансамблю електронів з різною функцією розподілу по енергіях і розраховано криві запалювання та пробою трьох типів газового розряду постійного струму в магнітному полі. Експериментально та теоретично доведено зміну рівноважної температури плазмових електронів у планарному магнетронному розряді через існування групи високоенергетичних електронів, густина яких залежить від питомої потужності в розряді. Ця залежність визначає вольтамперну характеристику розряду за низького тиску робочого газу. Експериментально встановлено та теоретично обгрунтовано принципову роль асиметрії електродів у енергобалансі ВЧ індукційно-ємнісного розряду, її вплив на сумарну енергетичну ціну іона й енергетичну ефективність плазмових реакторів і джерел іонів. Визначено енергетично оптимальні співвідношення площ електродів залежно від енергії іонів. Проведено систематизацію процесів генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими ЕН полями на основі дрейфової теорії. Визначено загальні параметри подібності та закономірності іонно-плазмових систем на основі фундаментальних положень фізики газового розряду, низькотемпературної плазми та законів збереження частинок, імпульсу й енергії.

• Зиков Олександр Вікторович (технічні науки)
• Зиков Олександр Володимирович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"