Розроблено та досліджено архітектуру й елементну базу аналітичних мікросистем-на-кристалі зі структурами "кремній-на-ізоляторі" (КНІ). Розроблено архітектуру мікросистем-на-кристалі (АМнК), що є спеціалізованим кристалом ІС, побудований за принципом матричних ІС і містить спеціальну "технологічну площадку" з елементами зв'язку та матрицю бібліотечних елементів для реалізації схем аналогових і цифрових опрацювань первинної інформації від сенсорних елементів, а також базові матричні комірки для побудови вхідних/вихідних каскадів АМнК. Одержали подальший розвиток методи формування локальних тривимірних КНІ-структур. Зокрема розроблено дво-, трьохрівневі та комбіновані локальні 3В КМОН КНІ-структури. Розроблено та промодельовано технологічні послідовності та режими формування дворівневих тривимірних КНІ-структур, конструктивно суміщених з мікропорожнинами під поверхнею кремнієвої пластини. Показано, що дані структури можуть бути використані для створення тривимірних КНІ транзисторних чутливих елементів з можливістю подання зміщення до підканальної ділянки для усунення "кінк-ефекту". Наведено результати приладно-технологічного, електрофізичного та схемотопологічного моделювання базових приладних елементів аналітичних мікросистем. Розроблено та досліджено вихідні каскади, виконані за традиційною КНІ технологією та буферних драйверів з використанням подвійного управління підканальною ділянкою в КНІ-транзисторах, що містять як КМОН, так і біполярні транзистори.

• Довгий Володимир Васильович (медичні науки)
• Довгий Віктор Володимирович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"