Мета роботи - розроблення та дослідження методу автоматизованої побудови цифрової моделі мікрорельєфу поверхні об'єкта за стереопарою цифрових РЕМ-зображень з урахуванням специфіки РЕМ-знімання та дослідження точності цифрового моделювання мікроповерхні об'єкта, залежно від типу генерування вхідних точок. Дослідження базуються на опрацюванні трьох типів моделей даних. Тестову модель отримано за результатами вимірювань цифрових зображень РЕМ-стереопари. Інші моделі побудовано за точками, згенерованими на лівому знімку РЕМ-стереопари за регулярною сіткою та градієнтним методом. Ототожнення відповідних точок стереопари виконували кореляційним методом поетапно з застосуванням вікон пошуку різних розмірів. Для отримання просторових координат точок мікрорельєфу поверхні об'єкта з точок мікрорельєфу поверхні об'єкта з необхідною для дослідників точністю враховували величини геометричних спотворень, притаманних РЕМ-зображенням. Для усунення окремих аномальних значень висот 3D моделі застосовано процедуру адаптивної медіанної фільтрації. Оцінку точності значень висот точок мікрорельєфу поверхні об'єкта виконано порівнянням із тестовою моделлю. Встановлено можливість за стереопарою цифрових РЕМ-зображень в автоматизованому режимі відтворювати мікрорельєф поверхні об'єкта з дотриманням вимог як до точності визначення просторових координат точок, так і до структури мікроповерхні об'єкта. Розроблений алгоритм реалізовано в середовищі MATLAB. За рахунок щільного набору точок обидві моделі надали змогу коректно змоделювати дрібні елементи структури мікроповерхні. Кількість точок, в яких різниці між значеннями висот тестової та досліджуваних моделей були у межах допуску AZ << +- 2 мкм, становила 88 - 89 %. Виконано оцінку часу роботи алгоритму ототожнення відповідних точок стереопари з використанням двох-трьох вікон пошуку різних розмірів. Розроблено методику поетапного кореляційного ототожнення з застосуванням вікон пошуку різних розмірів, оцінка її ефективності супроводжується на всіх етапах авторським програмним забезпеченням та її доцільність доведено. Застосування цієї методики надає змогу автоматизувати процес побудови цифрової моделі мікрорельєфу поверхні об'єкта за РЕМ-стереопарою цифрових зображень. Результати експерименту підтверджують ефективність запропонованого алгоритму та суттєве зменшення часу побудови цифрової моделі мікрорельєфу у порівнянні з часом, за який вимірює координати точок оператор у ручному режимі.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Іванчук Олександр Олексійович (технічні науки)
• Іванчук Олег Михайлович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"