З застосуванням методу високочастотного (ВЧ) іонно-плазмового розпорошення в різних атмосферах одержано тонкі плівки Y2O3:Eu. На основі рентгенофазового аналізу досліджено фазовий склад одержаних плівок і розглянуто різні причини розширення дифракційних смуг. Показано, що збільшення у розпорошувальній атмосфері Ar вмісту O2 призводить до зменшення розмірів нанокристалітів, які формують плівку Y2O3:Eu, від 5,9 до 5,0 нм і зменшення структурної досконалості плівок та збільшення в них механічних напружень.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"