Проведено дослідження впливу електронно-променевої обробки поверхні скляних підкладок сенсорів на основі явища поверхневого плазмонного резонансу з плазмонносійним шаром золота на точність визначення кутового положення мінімуму характеристики відбиття із застосуванням чисельних методів обробки результатів прямих вимірювань, а саме: методів апроксимації поліномами 2-го, 3-го та 4-го ступенів та методу середньої лінії. Досліджено сенсори з різною питомою потужністю електронно-променевої обробки поверхні скляних підкладок: 0, 27 та 36 Вт/мм<^>2. Досліджено характеристики відбиття для границі золото-повітря. За результатами експериментів та чисельного аналізу встановлено, що вплив електронно-променевої обробки на зміну абсолютної похибки визначення мінімуму характеристики відбиття суттєво залежить від вибраного чисельного методу. Так вдосконалений метод середньої лінії забезпечує зменшення абсолютної похибки вимірювання порівняно з методом середньої лінії в 6 разів для зразків без обробки та майже в 12 разів - для зразків з обробкою потужністю 27 Вт/мм<^>2. Для цього методу найменша абсолютна похибка спостерігається для потужності електронно-променевої обробки 36 Вт/мм<^>2 і становить 0,58 кут. сек., що свідчить про доцільність застосування нового методу. В порівнянні з методами апроксимації поліномами та методом середньої лінії вдосконалений метод середньої лінії має більшу точність визначення мінімуму характеристики відбиття через те, що менше залежить не тільки від її симетричності, яка пов'язана з оптичними характеристиками перехідного шару золото-повітря, а й від змін величини інтенсивності відбитого світла в мінімумі характеристики відбиття. За результатами розрахунків на основі попередньо визначених оптичних констант за виміряними характеристиками відбиття встановлено, що з підвищенням потужності опромінення збільшується симетричність характеристики відбиття, відстань розповсюдження і глибина проникнення поверхневих плазмонів у повітря, що пов'язано зі зменшенням шорсткості поверхні золота після електронно-променевої обробки, та, як наслідок, зменшення загасання поля поверхневих плазмонів. Дослідження можуть бути корисними для розробки сенсорів на основі явища поверхневого плазмонного резонансу та методів обробки результатів вимірювання.

 Наукова періодика України 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"