Проведено аналіз і порівняння можливих конструктивних особливостей надвисокочастотних генераторів низькотемпературної плазми, які будуються на базі еванесцентних хвиль. Мета дослідження - систематизація різних методів і підходів до генерації НВЧ плазми за допомогою еванесцентних хвиль, пошук технології застосування еванесцентних хвиль НВЧ діапазону у плазмовій техніці, проблема забезпечення зони однорідності оброблюваної поверхні твердого тіла великої площі (метри квадратні). Розглянуто 3 підходи, що забезпечують збудження еванесцентної хвилі: збудження за допомогою позамежного хвилеводу; еванесцентна хвиля, що збуджується за допомогою поверхневої хвилі; еванесцентна хвиля, що збуджується поблизу поверхні діелектрика за рахунок ефекту порушення повного внутрішнього відбиття. Наведено результати перших експериментів використання таких генераторів і визначено перспективи їх подальшого застосування для іонно-плазмової технології обробки великих підкладок.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Кузьмичєв Анатолій Іванович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"