Для порівняння характеристик електронної хмари за збудження розряду імпульсами прямокутної форми та імпульсами у формі затухаючої синусоїди створено фізико-топологічну модель магнетронної розпилювальної системи. В результаті моделювання розраховано розподіл у просторі та часі щільність електронів, енергію електронів, щільність енергії електронів за прямокутного та ударного збудження розряду. Аналіз отриманих результатів підтвердив раніше зазначену іншими авторами особливість, що виражається в формуванні підвищеної щільності електронів на фронтах імпульсів збудження розряду. З'ясовано, що у разі ударного збудження магнетронного розряду: енергія електронів над поверхнею катоду-мішені в декілька разів є вищою ніж за збудження розряду імпульсом прямокутної форми та відповідно до більш інтенсивного розпилення поверхні катоду-мішені; спостерігається незначне збільшення зони ерозії мішені та відповідно до збільшення коефіцієнта використання матеріалу мішені; в позитивний період синусоїди, утворюються іони, які бомбардують плівку, що осаджується та розпилюють її, якщо вона знаходиться під потенціалом землі.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Бевза Олег Миколайович (технічні науки)
• Кузьмичєв Анатолій Іванович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"