Козак А. О. Структура та властивості покриттів із системи Al - B - Si - C, отриманих магнетронним розпиленням / А. О. Козак, В. І. Іващенко, П. Л. Скринський, В. Б. Муратов, В. В. Тетьоркін, А. Сукач, О. К. Синельниченко, О. І. Оліфан // Надтверді матеріали. - 2020. - № 5. - С. 34-48. - Бібліогр.: 43 назв. - укp.Проведено дослідження структурних, механічних і електрофізичних властивостей Al - B-, Al - B - C- і Al - B - Si - C-покриттів, одержаних дуальним магнетронним розпиленням мішені з AlB2, SiC і графіту. Змінним параметром був струм IAlB, прикладений до AlB2-мішені. Одержані покриття досліджували за допомогою рентгенівської дифракції, інфрачервоної спектроскопії (FTIR), рентгенівської фотоелектронної спектроскопії (XPS) та шляхом аналізу результатів вимірів твердості за Кнупом і вольтамперних характеристик. Встановлено, що всі осаджені покриття є рентгеноаморфними. Дані FTIR і XPS показують, що у всіх покриттях присутні B - B-, Al - B-, B - O- і Al - O-зв'язки. За дуального розпилення мішень із AlB2 і C, AlB2 і SiC в одержаних покриттях додатково формуються B - C-, Si - C- і C - C-основні зв'язки. Встановлено, що зміцнення покриттів з ростом IAlB відбувається за рахунок збільшення B - B- і Al - B-зв'язків. Вольтамперні характеристики Al - B- і Al - B - C-покриттів свідчать, що покриття є невпорядкованими напівпровідниками, в яких реалізується стрибковий механізм провідності. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.03-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|