Проведено аналіз впливу енергетичних факторів, таких як потенціал зсуву, що подається на підкладку, густина іонного струму на підкладку і швидкість осадження, на формування структури та субструктури плівок дибориду гафнію, одержаних ВЧ-магнетронним розпорошенням. Показано, що структурні зміни від квазіаморфного стану до нанокристалічного з текстурою зростання відбуваються внаслідок змін енергетичних факторів.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"