Goncharov A. A. Effect of energy factors on the structure and substructure characteristics of hafnium diboride films deposited by RF magnetron sputtering = Вплив енергетичних факторів на структуру та субструктуру плівок дибориду гафнію, отриманих ВЧ-магнетронним розпорошенням / A. A. Goncharov, A. V. Zykov, A. N. Yunda, I. V. Shelest, V. V. Buranich // Metallophysics and Advanced Technologies. - 2020. - 42, № 6. - С. 815-827. - Бібліогр.: 19 назв. - англ.Проведено аналіз впливу енергетичних факторів, таких як потенціал зсуву, що подається на підкладку, густина іонного струму на підкладку і швидкість осадження, на формування структури та субструктури плівок дибориду гафнію, одержаних ВЧ-магнетронним розпорошенням. Показано, що структурні зміни від квазіаморфного стану до нанокристалічного з текстурою зростання відбуваються внаслідок змін енергетичних факторів. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.03-18 + В379.26
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|