Gabovich A. M. Nanosized structure formation by trampoline ion-plasma sputtering / A. M. Gabovich, O. Yo. Gudymenko, V. P. Kladko, P. M. Lytvyn, Iu. M. Nasieka, B. M. Romaniuk, V. F. Semeniuk, N. I. Semeniuk, V. V. Strelchuk, V. I. Styopkin, V. M. Tkach // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології : зб. наук. пр.. - 2020. - 18, вип. 2. - С. 357-372. - Бібліогр.: 9 назв. - англ.Вивчено ефект колективного батутного іонно-плазмового розпорошення на поверхневі властивості металів, ізоляторів і напівпровідників. Досліджено структуру поверхні, склад і структуру плівок, одержаних батутним розпорошенням різних цілей (металів, кераміки, кремнію та вуглецю). Визначено основні параметри процесів текстурування та формування високоадгезійних покриттів. Встановлено, що одержана наномасштабна структура поверхні забезпечує екстремальну адгезію вироблених плівок. Крім того, висока швидкість осадження плівки під час іонно-плазмового обробляння поверхні створює такі субмікронні структури, що одержані щільні плівки містять мало дефектів. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.6-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж72631 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|