Досліджено процес формування кристалічної фази кремнію в плівках аморфного кремнію, легованого оловом. Показано, що включення металевого олова відіграють ключову роль в процесі кристалізації досліджуваних зразків <$E alpha>-SіSn (Sn ~ 1 - 10 ат. %) при температурах 300 - 500 <$E symbol Р>C. Процес кристалізації умовно можна поділити на два етапи. На першому етапі у об'ємі свіжоосаджених плівок внаслідок дифузії атомів олова в аморфній матриці кремнію відбувається формування металевих включень олова. На другому етапі відбувається формування нанокристалічної фази кремнію внаслідок руху атомів кремнію від аморфної до кристалічної фази через сформовані металеві включення олова. Присутність металевих включень олова забезпечує формування кристалітів кремнію при значно нижчій температурі, ніж температура твердофазної рекристалізації (~ 750 <$E symbol Р>C). Проаналізовано можливість існування взаємозв'язку між розмірами нанокристалічного кремнію, який формується, та розмірами металевих включень олова, які сприяють його формуванню.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Руденко Роман Миколайович (фізико-математичні науки)
• Войтович Василь Васильович (фізико-математичні науки)
• Войтович Володимир Васильович (технічні науки)
• Колосюк Андрій Григорович (1982–) (фізико-математичні науки)
• Красько Микола Миколайович (фізико-математичні науки)
• Поварчук Василь Юрійович (фізико-математичні науки)
• Руденко Микола Петрович (педагогічні науки)
• Руденко Микола Павлович (юридичні науки)
• Руденко Микола Петрович (психологічні науки)
• Кнорозок Леонід Михайлович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"