Предметом статті є метод комп'ютерної обробки сигналів інтерференційних зображень функціональних поверхонь компонентів мікроелектромеханічних систем. Мета роботи - підвищення точності та зниження трудомісткості контролю при розробці технології виробництва компонентів мікрооптоелекромеханічних систем. Проаналізовано технологічні особливості виробництва функціональних компонентів мікрооптомеханічних систем та розробка методу контролю для підтвердження теоретичних досліджень виконаних на попередніх етапах роботи для визначення топології поверхонь на основі відфільтрованих, засобами комп'ютерного моделювання екстремумів, смуг, зображень інтерференційних функціональних поверхонь МОЕМС, проведення експерименту для отримання апробації методу та отримання статистичних даних оцінки зразків поверхонь. Використовуваними методами є: методи планування експерименту та комп'ютерної обробки експериментальних даних, з використанням рядів Фур'є, перетворення Гілберта та смугових фільтрів. Для контролю функціональних поверхонь МОЕМС-компонентів запропоновано використовувати фазовий метод, який дозволяє швидко та точно проводити чисельну оцінку параметрів шорсткості зразків. Даний метод має досить високу точність, за рахунок виключення супутніх складових в сигналах, широкі функціональні можливості, не потребує використання специфічного обладнання, дозволяє аналізувати характеристики поверхонь та отримувати їх тривимірне зображення. Висновки: наукова новизна отриманих результатів полягає в наступному. Розроблений метод сприяє удосконаленню операції контролю функціональних поверхонь МОЕМС, за рахунок використання інтерференційного методу, в якому на відміну від існуючих, запропоновано використовувати смуговий фільтр для усунення супутніх складових в інтерференційному сигналі, що дозволяє підвищити точність та знизити трудомісткість контролю.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Філіпенко Ольга Іванівна (філологічні науки)
• Філіпенко Оксана Іванівна (юридичні науки)
• Чала Оксана Вікторівна (економічні науки)
• Боцман Ірина Володимирівна (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"