Досліджено структурні та концентраційні зміни у багатошаровій наносистемі Ni(25 нм)/Cu(25 нм)/Cr(25 нм) на монокристалічній підкладинці Si(100) за умов термічної обробки у кисневмісній та нейтральній атмосферах за температури <$E450~symbol Р roman C>, а також додаткового іонного (Ar<^>+) опромінення з енергією 800 еВ та флюенсом <$E5,6~cdot~10 sup 16> іон/см<^>2. Проаналізовано вплив різної вихідної дефектності структури зразків на ефект розмірної нестабільності, який проявляється шляхом формування мікропор, концентраційні зміни, зокрема насичення домішками, а також механізми та закономірності дифузійних процесів. З цією метою використано синхротронне випромінювання на матеріалознавчому бімлайні BL44B2 RIKEN центру SPring-8, методи Оже-електронної спектроскопії (Jamp-9500F, Jeol) та сканувальної електронної мікроскопії. З'ясовано, що за умов термічної обробки в атмосфері аргону вихідна структура плівки практично не впливає на еволюцію дефектів та характер дифузійних процесів. Водночас, відпал в аргоні у всіх випадках пришвидшує дифузію Ni у шар Cu за об'ємним механізмом та дифузію Cu у шар Ni за зернограничним механізмом у порівнянні із відпалом у вакуумі 10<^>-3 Па. Після відпалу у вакуумі плівок, що мають нанорозмірні пори у вихідному стані, спостерігається не тільки інтенсивна дифузія Cr до зовнішньої поверхні (концентрація Cr у приповерхневому шарі досягає <$Esymbol @~25> ат.%) із подальшим окисненням, а і катастрофічне насичення шару Cr карбоном - до 30 ат.%. За умов застосування попередньої іонної обробки поверхні кількість вуглецю суттєво знижується, а ступінь досконалості кристалічної структури Cu зростає.

• Капітанчук Леонід Мусійович (фізико-математичні науки)
• Капітанчук Леонiд Мусійович (технічні науки)
• Сидоренко Сергій Іванович (1947–) (технічні науки)
• Сидоренко Сергій Іванович (1966–) (філологічні науки)
• Волошко Світлана Михайлівна (1960–) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"