Вивчено процес осадження покриттів шляхом розпилення мішені на основі MAX-фази Ti2AlC з використанням джерела газової плазми. Показано, що MAX-фаза Ti2AlC відноситься до важкорозпилюємих матеріалів. Зі збільшенням енергії розпилення іонів Ar<^>+ з 400 до 1200 еВ коефіцієнт розпилення мішені на основі MAX-фази збільшується з 0,2 до 0,7 атом/іон. Одержані значення в 1,5 разу нижчі за коефіцієнти розпилення мішені з титану. Фазові перетворення відбуваються на поверхні мішені і пов'язані з розпадом MAX-фази та селективним розпиленням більш легких елементів іонами Ar<^>+. Встановлено, що на склад нанесених покриттів суттєво впливає величина потенціалу зміщення на підкладці. Зі збільшенням потенціалу в діапазоні від 50 до 200 В відносний вміст алюмінію в покриттях різко падає на користь титану від Ti:Al = 3,5:1 до Ti:Al = 48:1. Незалежно від складу, твердий розчин (Ti, Al)C утворюється в покриттях з кубічною кристалічною решіткою типу NaCl, розміром кристалітів 10 - 15 нм і текстурою осьового типу. MAX-фазу Ti2AlC в покриттях не виявлено. Покриття мають високу твердість і модуль Юнга, які збільшуються зі зниженням концентрації алюмінію в межах 21 - 30 ГПа та 290 - 340 ГПа.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Пріхна Тетяна Олексіївна (1957–) (технічні науки)
• Колодій Ігор Вікторович (фізико-математичні науки)
• Білоус Віталій Арсентійович (1944–) (геологічні науки)
• Свердун Володимир Богданович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"