Першин Ю. П. Міжфазна взаємодія в багатошарових нанорозмірних композиціях на основі кремнію : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 01.04.07 / Ю. П. Першин; Національна академія наук України, Інститут електрофізики і радіаційних технологій. - Харків, 2021. - 28 c. - укp.Вирішено науково-технічні проблеми контролю й управління процесом міжшарової взаємодії в наношарах багатошарових нанорозмірних композиціях (БНК), а також встановлено параметри такої взаємодії на стадії виготовлення шаруватого об'єкта. Показано, що в БНК Me/Si (Me: Sc, Mo, W) продуктами взаємодії є аморфні прошарки (АП) з відносно високим вмістом в них атомів кремнію (ScSі1+х; WSi2-х; Mo5Si3) на міжфазих межах Ме-на-Si і переважним вмістом атомів металу (ScSi1-x; WSi0,6±x; Mo3Si) на міжфазних межах Si-на-Ме. Фазовий склад аморфних прошарків в БНК Mo/Si істотно відрізняється від традиційно використовуваного MoSi2 під час опису їх структури. Процес міжфазної взаємодії можна сильно послабити, якщо зменшити енергію атомів, які розпилюються, шляхом передачі її частини атомам робочого газу при підвищеному тиску аргону або якщо використовувати бар'єрні шари. Розроблено методику оцінки фазового складу аморфних прошарків. Вона заснована на прецизійному вимірюванні відносних об'ємних змін в періодичних БНК, які супроводжують утворення силіцидних прошарків. Придушення МФ-взаємодії призводить до значного зростання відбивної здатності БНК в області м'якого рентгенівського випромінювання (1 < λ < 50 нм). Реконструйовано моделі будови БНК, які є функцією товщини металу або бар'єрного шару. Це дало можливість створити рентгенівську оптику і отримати зображення нанооб'єктів. Індекс рубрикатора НБУВ: В371.212,022 + В372.6,022
Рубрики:
Шифр НБУВ: РА449654 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|