Вирішено науково-технічні проблеми контролю й управління процесом міжшарової взаємодії в наношарах багатошарових нанорозмірних композиціях (БНК), а також встановлено параметри такої взаємодії на стадії виготовлення шаруватого об'єкта. Показано, що в БНК Me/Si (Me: Sc, Mo, W) продуктами взаємодії є аморфні прошарки (АП) з відносно високим вмістом в них атомів кремнію (ScSі_1+х; WSi_2-х; Mo₅Si₃) на міжфазих межах Ме-на-Si і переважним вмістом атомів металу (ScSi_1-x; WSi_0,6±x; Mo₃Si) на міжфазних межах Si-на-Ме. Фазовий склад аморфних прошарків в БНК Mo/Si істотно відрізняється від традиційно використовуваного MoSi₂ під час опису їх структури. Процес міжфазної взаємодії можна сильно послабити, якщо зменшити енергію атомів, які розпилюються, шляхом передачі її частини атомам робочого газу при підвищеному тиску аргону або якщо використовувати бар'єрні шари. Розроблено методику оцінки фазового складу аморфних прошарків. Вона заснована на прецизійному вимірюванні відносних об'ємних змін в періодичних БНК, які супроводжують утворення силіцидних прошарків. Придушення МФ-взаємодії призводить до значного зростання відбивної здатності БНК в області м'якого рентгенівського випромінювання (1 < λ < 50 нм). Реконструйовано моделі будови БНК, які є функцією товщини металу або бар'єрного шару. Це дало можливість створити рентгенівську оптику і отримати зображення нанооб'єктів.

• Першин Юрій Павлович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"