Досліджено вплив струму розпилення та температури відпалювання на структуру, склад і механічні властивості плівок Ti - Al - C і Ti - Al - Si - C, осаджених на Si (100) підкладки за допомогою методу магнетронного на постійному струму розпилення композиційної Ti - Al, графітової і SiC мішеней за різних значень току розпилення. Дослідження було проведено з використанням методів рентгенівської дифракції (РД), рентгенівської фотоелектронної спектроскопії (РФЕС), атомно-силової мікроскопії, вимірюванням твердості. Осаджені плівки мали аморфну структуру з досить низькою (0,25 - 0,27 нм) середньоквадратичною шорсткістю. За відпалу у вакуумі за температури <$E800~symbol Р roman C> у плівках Ti - Al - C було сформовано кристалічні фази Ti2AlC MAX, Al4C3, TiC2, TiO2 та аморфна фаза Al - C - O, а в плівках Ti - Al - Si - C - кристалічні фази Ti2Si1-xAlxC MAX, Al4C3, TiSi/TiSi2 і аморфна фаза Al - Si - C - O. Ідентифікацію структур проведено за допомогою методів РД, РФЕС та на підставі результатів теоретичних розрахунків. У плівках з аморфною структурою твердість зростала зі збільшенням струму розпилення графітової або SiC мішеней, досягаючи максимальних значень 19,1 і 17,8 ГПа для Ti - Al - C і Ti - Al - Si - C плівок відповідно. Зміну твердості плівок пояснено з урахуванням еволюції хімічного зв'язку в них.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Іващенко Володимир Іванович (1956–) (фізико-математичні науки)
• Онопрієнко Олексій Олексійович (фізико-математичні науки)
• Скринський Петро Лукич (технічні науки)
• Козак Андрій Олександрович (фізико-математичні науки)
• Синельниченко Олексій Корнійович (фізико-математичні науки)
• Оліфан Олена Ігорівна (фізико-математичні науки)
• Литвин Петро Мар'янович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"