Іващенко В. І. Структура та механічні властивості плівок Ti - Al - C і Ti - Al - Si - C: експериментальне дослідження та розрахунок із перших принципів / В. І. Іващенко, О. О. Онопрієнко, П. Л. Скринський, А. О. Козак, О. К. Синельниченко, О. І. Оліфан, П. М. Литвин, О. Л. Марчук // Надтверді матеріали. - 2021. - № 2. - С. 33-45. - Бібліогр.: 38 назв. - укp.Досліджено вплив струму розпилення та температури відпалювання на структуру, склад і механічні властивості плівок Ti - Al - C і Ti - Al - Si - C, осаджених на Si (100) підкладки за допомогою методу магнетронного на постійному струму розпилення композиційної Ti - Al, графітової і SiC мішеней за різних значень току розпилення. Дослідження було проведено з використанням методів рентгенівської дифракції (РД), рентгенівської фотоелектронної спектроскопії (РФЕС), атомно-силової мікроскопії, вимірюванням твердості. Осаджені плівки мали аморфну структуру з досить низькою (0,25 - 0,27 нм) середньоквадратичною шорсткістю. За відпалу у вакуумі за температури <$E800~symbol Р roman C> у плівках Ti - Al - C було сформовано кристалічні фази Ti2AlC MAX, Al4C3, TiC2, TiO2 та аморфна фаза Al - C - O, а в плівках Ti - Al - Si - C - кристалічні фази Ti2Si1-xAlxC MAX, Al4C3, TiSi/TiSi2 і аморфна фаза Al - Si - C - O. Ідентифікацію структур проведено за допомогою методів РД, РФЕС та на підставі результатів теоретичних розрахунків. У плівках з аморфною структурою твердість зростала зі збільшенням струму розпилення графітової або SiC мішеней, досягаючи максимальних значень 19,1 і 17,8 ГПа для Ti - Al - C і Ti - Al - Si - C плівок відповідно. Зміну твердості плівок пояснено з урахуванням еволюції хімічного зв'язку в них. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.030.022-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|