За допомогою методу високочастотного (ВЧ) іонно-плазмового розпорошення одержано тонкі плівки <$Ebeta - roman {Ga sub 2 O} sub 3>, які формуються з нанокристалічних зерен. Дослідження морфології поверхні тонких плівок з використанням методу атомно-силової мікроскопії (АСМ) показали, що у разі проведення термооброблення зростає середній розмір нанокристалічних зерен, які формують плівки. На основі аналізу результатів розподілу розмірів діаметрів зерен встановлено, що, незалежно від здійснення термооброблення, в тонких плівках <$Ebeta - roman {Ga sub 2 O} sub 3> спостерігається тримодальний розподіл, який формується у процесі нанесення плівок. Здійснення термооброблення не змінює форму даного розподілу і призводить до рівномірного зростання розмірів зерен вздовж всього розподілу.

• Леонов Дмитро Сергійович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"