Представлено експериментальні дані стосовно іонно-плазмового (13,56 МГц) магнетронного напилення складових мішеней системи W - B. Застосування зазначеного методу надає змогу одержувати напилені сплави в усьому концентраційному інтервалі їх складів. Напилені плівки ілюструють виникнення аморфного твердого стану. Розкладання аморфного стану супроводжується виділенням проміжної метастабільної, нанокристалічної W-фази з гранецентрованою кубічною структурою. За допомогою магнетронного напилення одержано аморфний стан в чистих W-плівках за кімнатної температури. Досліджено метастабільні стани в W - B плівках, їх термічну стабільність, електричні та механічні властивості. Показано, що аморфний стан в сплаві WB5 характеризується аномально високою температурною стійкістю і мікротвердістю. Метод іонно-плазмового розпилення продемонстрував свою ефективність в разі плівок вольфраму, показавши можливість одержання в них метастабільних фаз. Разом з тим, одержані значення мікротвердості в аморфному сплаві виявилися нижчими передбачених максимальних теоретичних значень внаслідок особливостей розташування атомів в сплаві.

 Наукова періодика України 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"