Панкевич І. М. Прогнозування та модифікація лазерним випрмінюванням властивостей шарів полікремнію в структурах "кремній-на-діелектрику" : Дис... канд. техн. наук: 05.27.01 / І. М. Панкевич; Державний університет "Львівська політехніка". - Львів, 1996. - 162 c. - укp.
Шифр НБУВ: ДС50434Пошук видання у каталогах НБУВДодаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"