Богданов Р. В. Синтез вуглецевих наноматеріалів у магнетронній плазмі : автореф. дис. ... канд. фіз.-мат. наук : 01.04.08 / Р. В. Богданов; Київський національний університет імені Тараса Шевченка. - Київ, 2021. - 20 c. - укp.Присвячено визначенню умов синтезу вуглецевих наноматеріалів методом магнетронного розпорошення з використанням магнетронного розпорошувального пристрою з двома зонами ерозії (ДЗМРП). Комп'ютерне моделювання методом Монте-Карло з частинками дало змогу прогнозувати оптимальні режими для отримання вуглецевих плівок з sp2- зв'язками між атомами вуглецю на даному ДЗМРП. За цих режимів досягається енергія розпорошених із мішені атомів вуглецю біля 7,04 еВ, а їх потік становив 6х1015см-2с-1. За температур підкладки (423.. 618) К методом комбінаційного розсіювання світла виявлено характерний розмір sр2- зв’язаних нанокристалітів у плівках (5..6) нм. З моделювання виявлено нелінійну зміну потоку розпорошеної речовини з даного ДЗМРП навіть за одного і того самого розрядного струму. За мінімуму потоку 4,95х1015см-22с-1 формування плівок з великими нанокристалітами ускладнено. Показано, що при відстані мішень-підкладка у 4 см незаземлена підкладка у плазмі розряду даного ДЗМРП набирає потенціал самозміщення не більше -7В, що відповідає електронній температурі до 1,4 еВ. Індекс рубрикатора НБУВ: В333,022 + В371.21,022
Рубрики:
Шифр НБУВ: РА448254 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|