Розглянуто особливості вимірювання параметрів злитків монокристалічного кремнію в умовах промислового виробництва. Досконало розглянуто особливості контролю параметрів злитків які підлягають сертифікації при здачі партій злитків замовнику, та наведено опис технологічної схеми процесу вимірювання параметрів злитків кремнію і формування сертифікату якості. Описано та проаналізовано перелік фізичних параметрів, що підлягають сертифікації. Виконано аналіз методів, методик та обладнання, що застосовуються на підприємствах при вимірювані параметрів напівпровідникових матеріалів, а також виконано їх класифікацію. На основі аналізу існуючих методів, методик та обладнання, що використовуються на підприємствах електронної галузі сформовані вимоги до системи автоматичного управління вимірюванням промислово контрольованих параметрів злитка напівпровідників. В роботі авторами виконано синтез структурної схеми запропонованої системи, на основі аналізу процесу вимірювання параметрів монокристалічного кремнію центральною заводською лабораторією розроблено діаграму послідовності виконання операцій вимірювання параметрів. Схема враховує збір інформації про виміряні параметри як з існуючих в лабораторії приладів, так і тих параметрів, що потребують вимірювання в ручному режимі. Розроблено програмне забезпечення в середовищі LabView, яке реалізує функції збору інформації про вимірювані параметри, функції реєстрації інформації про параметри злитків кремнію в базі даних, та автоматичне формування сертифіката якості злитка. Розроблена система дозволяє скороти час на технологічну операцію сертифікації злитка монокристалічного кремнію та мінімізувати помилки, які виникали при заповненні сертифікату якості за рахунок так званого "людського фактору". Система може знайти застосування на підприємствах електронної техніки та підприємствах, що випускають продукцію, яка підлягає сертифікації по багатьом параметрам.

• Притчин Сергій Емільович (технічні науки)
• Шевченко Інна Володимирівна (медичні науки)
• Шевченко Іван Васильович (сільськогосподарські науки)
• Шевченко Ірина Вікторівна (економічні науки)
• Шевченко Ігор Вікторович (технічні науки)
• Шевченко Ірина Василівна (фармацевтичні науки)
• Шевченко Ірина Вікторівна (філософські науки)
• Шевченко Ірина Вікторівна (економічні науки)
• Шевченко Ірина Вікторівна (педагогічні науки)
• Шевченко Ігор Васильович (технічні науки)
• Шевченко Ігор Валерійович (технічні науки)
• Шевченко Ірина Валеріївна (економічні науки)
• Шевченко Ігор Володимирович (медичні науки)
• Шевченко Ігор Веніамінович (хімічні науки)
• Шевченко Ірина Володимирівна (1964–) (соціальні комунікації)
• Шевченко Іван Вікторович (географічні науки)
• Шевченко Ілона Володимирівна (технічні науки)
• Палагін Віктор Андрійович (технічні науки)
• Ломонос Андрій Іванович (технічні науки)
• Найда Віталій Володимирович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"