Розглянуто особливості удосконалення технології вирощування зливків арсеніду галію для виробництва підкладок, призначених для нанесення пористої плівки. Такий пористий арсенід галію застосовується для виготовлення сенсорів газу, що мають поліпшені технічні параметри. Докладно розглянуто особливості технологічного процесу вирощування зливків арсеніду галію та проаналізовано основні параметри, що впливають безпосередньо на процес. На основі аналізу сформовано вимоги до алгоритму роботи інформаційно-керуючої системи. Розроблений алгоритм дозволяє організувати роботу системи у трьох режимах: режим технолога, режим апаратника, режим наладчика Кожен режим має свої привілеї та обмеження. Алгоритм дозволяє організувати керування та видачу інформації з наступних підсистем: керування нагрівачем, керування тиглем, керування затравкою, керування діаметром, а також збереження інформації у базі даних. Розроблено програмне забезпечення, що реалізує запропонований алгоритм. Режим технолога призначений для формування профілю вирощування зливків. Профіль дозволяє прив'язати до довжини зливку зміну технологічних параметрів. У режимі "Апаратник" система відображає поточну інформацію про технологічний процес та дозволяє організувати роботу в автоматичному або ручному режимі. У режимі "Наладчик" можна конфігурувати систему керування залежно від конкретних вимог, змінити коефіцієнти ПІД-регулятора, конфігурувати вхідні та вихідні сигнали. Розроблена система дозвол яє збільшити якість зливків арсеніду галію за рахунок виключення людського фактору, який часто призводить до виходу параметрів процесу за допустимі значення, збільшити повторюваність параметрів зливка, отримувати якісніші підкладки для виготовлення сенсорів газу. Пропоноване програмне забезпечення можна використовувати для системи вирощування зливків кремнію на підприємствах електронної промисловості.

• Притчин Сергій Емільович (технічні науки)
• Палагін Віктор Андрійович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"