Стріха М. В. Про неможливість одержання стабільної негативної ємності в транзисторах MOSFET з ізоляторами на основі тонких шарів діелектрика та сегнетоелектрика / М. В. Стріха, Г. М. Морозовська // Сенсор. електроніка і мікросистем. технології. - 2022. - 19, № 1/2. - С. 19-29. - Бібліогр.: 9 назв. - укp.Розглянуто кремнієвий МOSFET, у якому ізолятор під затвором сформовано з тонких шарів діелектрика SiO2 та слабкого сегнетоелектрика HfO2. Досліджено можливість реалізації в такій системі стійкої негативної ємності ізолятора, що відкрило б можливість для зниження підпорогового розкиду до величин, нижчих від порового значення, 60 мВ/дек. для кімнатної температури, та напруги живлення до значень, нижчих від фундаментальної Больцманівської межі, 0,5 В, і тому стало б важливим кроком на шляху до дальшої мініатюризації MOSFET. Показано, що теоретично можливо досягнути перехідної негативної ємності сегнетоелектрика, якщо заряд на пластинах конденсатора збільшується в часі повільніше, аніж поляризація сегнетоелектрика. Але така негативна ємність принципово має перехідний характер. Спроба стабілізувати її в часі в системах тонких шарів діелектрика і сегнетоелектрика потребує стабільно додатної вільної енергії та ємності всієї системи. А тому ефект негативної ємності окремо сегнетоелектрика ніяк не виявлятиметься "назовні" (у т.ч. у транзисторних застосуваннях). Індекс рубрикатора НБУВ: З852.3
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|