Вивчено нанесення тонких плівок нітриду ніобію (NbN) на підкладки з нержавіючої сталі (SS304) і кремнію (100) за допомогою методу магнетронного розпилення за постійного струму та різних потужностей від 100 до 150 Вт. Структура плівки аналізується за допомогою рентгенівської дифракції (XRD); дифракційні картини показують, що плівки мають переважну орієнтацію (111), що відповідає фазі кубічної структури. Для дослідження складу підготовлених плівок використовуються метод пружного зворотного розсіювання Резерфорда (RBS) та енергодисперсійне рентгенівське випромінювання (EDX). Морфологія поверхні плівок досліджується за допомогою зображень, одержаних скануючою електронною мікроскопією (SEM) та атомно-силовою мікроскопією (AFM). Зображення AFM уточнюють зміни морфології, особливо шорсткість залежно від потужності; встановлено, що шорсткість зменшується зі збільшенням товщини плівки, а також потужності. Показники корозії та мікротвердості плівок пов'язані та приписуються кристалічності зразків, яка змінюється залежно від потужності. Корозійна стійкість плівок NbN на підкладках з SS304 підвищується. Ці привабливі результати можуть надати мажливість використання одержаних плівок в області медичних інструментів або обладнання (еквівалент сольової сироватки). Електричні вимірювання (C-V та I-V) плівок, нанесених за потужності 100 Вт, підтверджують потенційне електричне застосування плівок NbN, нанесених з застосуванням методу розпилення при постійному струмі.

 Наукова періодика України 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"