Досліджено структурні неоднорідності напівпровідникових гетероструктур, багатошарових систем, моно- і полікристалів методами багатохвильової Х-променевої дифрактометрії та дифракції зворотно-розсіяних електронів. Викладено, що метод базується на кінематичній теорії дифракції у випадку геометрії Брегга. Запропоновано підходи для визначення профілів деформації з аналізу багатохвильових дифрактограм Х-променів та електронів (картини Кікучі). Встановлено взаємозв'язок між змінами багатохвильових спектрів з особливостями будови кристалів різного походження. Запропоновано модель попередньої обробки дифракційного зображення, яка зменшує вплив інструментальних факторів при визначенні характеристик досліджуваних кристалів. Проведено на прикладі декількох зразків (Ge:Sb, NiCrFe, алмази, синтезовані у різних системах) детальний аналіз розподілу деформаційних полів на поверхні кристалів. Підтверджено правильність розробленого підходу оцінки деформаційного стану структури кристалів за допомогою високороздільної Х-променевої дифрактометрії та аналізу форми профілів дифракційних смуг розрахованих за допомогою методу дискретного двомірного Фур'є-перетворення картини Кікучі. Продемонстровано, що комплексне використання методу енергетичного Фур'є-спектру на додаток до методу дискретного двовимірного Фур'є-перетворення створює додаткові можливості для визначення впливу технологічних параметрів на структурну однорідність та ступінь досконалості досліджених кристалів.

 Автореферати дисертацій 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Солодкий Микола Степанович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"