Іващенко В. І. Структура та механічні властивості наношаруватих плівок Ti - B/С / В. І. Іващенко, О. О. Онопрієнко, П. Л. Скринський, О. К. Синельниченко, А. М. Ковальченко, О. І. Оліфан, О. К. Марчук // Надтверді матеріали. - 2022. - № 6. - С. 35-43. - Бібліогр.: 32 назв. - укp.Наношаруваті Ti - B/С плівки було отримано методом магнетронного на постійному струмі осадження за послідовного розпилення мішеней TiB2 та графіту. Плівки осаджували на кремнієві пластини з орієнтацією (100), до яких прикладали негативний потенціал зміщення 50 В і які були попередньо нагріті до 400 <$E symbol Р>С. Робочі параметри для мішені TiB2 були незмінними, а для графітової мішені струм розпилення змінювали в інтервалі 50 - 200 мА. Методами рентгенівської дифракції, рентгенівської фотоелектронної спектроскопії, вимірювання твердості та трибологічних тестів досліджено структуру, хімічні зв'язки, твердість за Кнупом та коефіцієнт тертя в залежності від струму IC розпилення графітової мішені. В структурі плівок виявлено кристалічну фазу, яка відрізняється від TiB2. Максимальну твердість було досягнуто в зразку, осадженому за IC = 150 мА, а мінімальний коефіцієнт тертя - в зразку, осадженому за IC = 200 мА. Індекс рубрикатора НБУВ: К235.160.26
Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|