Досліджено залежність швидкості нанесення тонких плівок Y2O3:Eu за ВЧ-розпорошення від тиску та складу робочого газу. Встановлено наявність оптимального тиску робочого газу, за якого швидкість нанесення є максимальною. Досліджено вплив концентрації активатора Eu<^>3+ на швидкість нанесення тонких плівок і яскравість катодолюмінесценції тонких плівок Y2O3:Eu. Пояснення одержаних результатів проведено в межах ефектів зворотнього розсіяння, зворотньої дифузії, особливу увагу приділено механізму резонансної перезарядки.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"