Продемонстровано синтез плівок оксиду цинку ZnO за методом ВЧ-магнетронного розпорошення цинкової мішені на кремнійовій підкладинці з використанням буферних шарів SiC та поруватого Si. Синтез складався з трьох етапів: одержання мезопоруватої поверхні Si(111) електрохімічним щавленням, нанесення плівок SiC на поруваті кремнієві підкладинки з використаннням методу заміщення та синтезу плівок ZnO за допомогою високочастотного магнетронного напорошення. Товщина плівки оксиду цинку становила <$Esymbol @~1> мкм. Мікроскопічний розріз плівки ZnO демонструє її стовпчасту мікроструктуру. Плівки мають форму щільно пакованих (агломерованих) нанозерен (розміром у 100 - 150 нм). За результатами рентгенофазових мірянь плівки ZnO орієнтовані уздовж основного напрямку текстури [0001]. Вивчення властивостей поверхні утвореної структури свідчить про полікристалічний характер покриття з гексагональною гратницею типу вюрциту. Довжина області когерентності, визначена за Шерреровою формулою, становить 11,8 нм.

• Кідалов Валерій Віталійович (1960–) (фізико-математичні науки)
• Дяденчук Альона Федорівна (1986–) (технічні науки)
• Кідалов Валерій Віталійович (1960–) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"