Шуаібов О. К. Дослідження умов газорозрядного синтезу наноструктур оксиду цинку при автоматичному УФ-опроміненні підкладки плазмою / О. К. Шуаібов, О. Й. Миня, Р. В. Грицак, А. О. Малініна, М. І. Ватрала // Фізика і хімія твердого тіла. - 2021. - 22, № 4. - С. 717-723. - Бібліогр.: 23 назв. - укp.Наведено спектроскопічні характеристики біполярного, перенапруженого розряду наносекундної тривалості між електродами з цинку в кисні за тиску p(O2) - 13,3 кПа. В процесі мікровибухів неоднорідностей на робочих поверхнях електродів у сильному електричному полі в розрядний проміжок вносяться пари цинку. Це створює передумови для утворення молекул і кластерів оксиду цинку в плазмі та синтезу тонких острівкових плівок оксиду цинку, які можна осаджувати на діелектричній підкладці, встановленій поблизу від центра розрядного проміжку. Спектральні характеристики розряду досліджено з центральної частини розрядного проміжку величиною 2 мм. Установлено основні збуджені складові плазми парогазової суміші на основі цинку та кисню за високих значень параметра E/N (де E - напруженість електричного поля; N-сумарна концентрація часток в плазмі), які у процесі осадження за межами розрядної плазми можуть приводити до утворення тонких наноструктурованих плівок на основі оксиду цинку.
Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|