З використанням методу високочастотного (ВЧ) іонно-плазмового розпорошення в атмосфері аргону на монокристалічних підкладинках NaCl та аморфних підкладинках <$Eupsilon - roman {SiO sub 2 }> одержано тонкі плівки (Lа0,06Ga0,94)2O3:Eu. Дослідження морфології поверхні тонких плівок за методом атомно-силової мікроскопії показали, що з переходом від підкладинок NaCl до <$Eupsilon - roman {SiO sub 2 }> зростає середній діаметр кристалітів, які формують плівку від 23 нм до 48 нм. Термооброблення плівок на підкладинках з <$Eupsilon - roman {SiO sub 2 }> в атмосфері аргону призводить до зростання середніх діаметрів зерен до 68 нм і, відповідно, середньоквадратичної шерсткості від 0,5 нм до 6,1 нм. Проведено аналіз розподілів кристалітів за діаметром і за об'ємом та запропоновано, що у процесі ВЧ-напорошення відбувається зростання вторинних зерен, а у процесі високотемпературного термооброблення відбувається зростання вторинних і третинних зерен.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"