![](/irbis64r_81/images/db_navy.gif) Віртуальна довідка ![](/irbis64r_81/images/db_navy.gif) Тематичний інтернет-навігатор ![](/irbis64r_81/images/db_navy.gif) Наукова електронна бібліотека ![](/irbis64r_81/images/db_navy.gif) Автореферати дисертацій ![](/irbis64r_81/images/db_navy.gif) Реферативна база даних ![](/irbis64r_81/images/db_navy.gif) Книжкові видання та компакт-диски ![](/irbis64r_81/images/db_navy.gif) Журнали та продовжувані видання
![Mozilla Firefox](../../ico/mf.png) |
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер "Mozilla Firefox" |
|
|
Формат представлення знайдених документів: | повний | стислий |
Пошуковий запит: (<.>A=КУЗЬМИЧ$<.>+<.>A=АНАТОЛІЙ$<.>+<.>A=ІВАНОВИЧ$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 14
Представлено документи з 1 до 14
|
| | | | |
1. |
Кузьмич О.А. Виховання мовленнєвого етикету у дітей молодшого шкільного віку в сім'ї: автореф. дис. ... канд. пед. наук: 13.00.07 / О.А. Кузьмич ; Ін-т пробл. виховання АПН України. — К., 2010. — 20 с. — укp.Виділено основні аспекти мовленнєвого етикету, з'ясовано сутність поняття "мовленнєвий етикет дітей молодшого шкільного віку". Обгрунтовано роль сім'ї у вихованні даного явища в молодших школярів. Визначено й охарактеризовано критерії, компоненти та показники вихованості мовленнєвого етикету в молодших школярів, виявлено рівні вихованості даного явища в них. Досліджено сучасну практику виховання мовленнєвого етикету в учнів 1 - 4-х класів за умов сім'ї. Розроблено модель оптимізації процесу виховання мовленнєвого етикету у дітей молодшого шкільного віку в сім'ї. Скачати повний текст
Індекс рубрикатора НБУВ: Ч491.352.25 + Шифр НБУВ: РА369613 Пошук видання у каталогах НБУВ
Рубрики:
|
| | | | |
2. |
Кузьмичов І. К. Відкриті електродинамічні системи з внутрішніми неоднорідностями: автореф. дис. ... д-ра фіз.-мат. наук : 01.04.03 / І. К. Кузьмичов ; Національна академія наук України ; Інститут радіофізики та електроніки ім. О.Я. Усикова. — Х., 2009. — 32 с. — укp. Скачати повний текст
Індекс рубрикатора НБУВ: З845.7 Шифр НБУВ: РА369235 Пошук видання у каталогах НБУВ
Рубрики:
|
| | | | |
3. |
Кузьмичов Гравітаційне поле квазізамкненого світу та квантування метрики замкненої космологічної моделі: Автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук: 01.04.02 / Вадим Валентинович Кузьмичов ; Київський ун-т ім. Тараса Шевченка. — К., 1999. — 16 с. — укp. Скачати повний текст
Індекс рубрикатора НБУВ: В692,022 + В313.38,022 Шифр НБУВ: РА306935
Рубрики:
|
| | | | |
4. |
Іванович Г.В. Динаміка вмісту глікогену та сумарних ліпідів у мідій IMytilus galloprovincialis/I Lam. Одеської затоки: Автореф. дис... канд. біол. наук: 03.00.17 / Г.В. Іванович ; НАН України. Ін-т біології півден. морів ім. О.О.Ковалевського. — Севастополь, 2005. — 23 с. — укp.Вивчено вміст глікогену та його динаміку у тілі мідій Одеської затоки. Доведено, що вміст глікогену у тілі мідій з марікультурних колекторів у 1,8 рази вищий, ніж у мідій природних субстратів. З'ясовано, що він вірогідно зменшувався з верхньої частини колектора - 4,58 %, до нижньої - 2,68 % сирої маси. Виявлено, що вміст глікогену у зовнішніх частинах друзи вищий, ніж у внутрішніх у 1,6 - 1,8 рази. За результатами вивчення максимального вмісту глікогену у тілі мідій за літнього періоду (червень - липень) установлено, що цей вміст значно нижчий в Одеській затоці, ніж у мідій з Кримського регіону (2,98 та в 5,20 - 5,70 % сирої маси відповідно). Виявлено різницю максимальних рівнів вмісту глікогену на п'яти прибережних станціях з різним рівнем водообміну. Цей рівень послідовно зменшується від станції з вільним водообміном - 4,9 % до станції з обмеженим рівнем водобміну - 2,1 % сирої маси. Під час дослідження різних органів мідій установлено, що максимальний вміст глікогену у гонадах, а мінімальний - у зябрах. Визначено, що найбільшого рівня вміст глікогену становить на стадії статевого спокою у гонадах - 5,15 %, у гепатопанкреасі - 1,91 %, у зябрах - 1,79 % сирої маси. Мінімум цього компонента відзначено на стадії вимету в усіх органах. Сумарних ліпідів виявлено найбільше у гепатопанкреасі. В усіх органах вміст сумарних ліпідів максимальний у період дозрівання статевих продуктів на переднерестовій стадії: у гепатопанкреасі - 2,47 %, у гонадах - 1,53 % та у зябрах - 0,92 % сирої маси. Мінімум цього вмісту виявлено в усіх органах у період вимету статевих продуктів. Установлено можливість використання вмісту глікогену та сумарних ліпідів, а також супутніх показників (вмісту сирої та сухої речовини, вологи та морфо-функціональних індексів) як індикаторів стану молюсків на різних стадіях репродуктивного циклу та за різних умов мешкання. Скачати повний текст
Індекс рубрикатора НБУВ: Е621.166.21*725.123.113 + Шифр НБУВ: РА341209
Рубрики:
|
| | | | |
5. |
Кузьмич О. Я. Договір на користь третьої особи в цивільному праві України: автореф. дис. ... канд. юрид. наук : 12.00.03 / О. Я. Кузьмич ; НДІ приват. права і підприємництва АПН України. — К., 2010. — 20 с. — укp.Розкрито особливості суб'єктного складу договору, зміст прав та обов'язків сторін договору, зокрема питання зміни та розірвання договору, можливості особи, яка уклала договір, скористатися правом, від якого відмовилася третя особа. Досліджено правові наслідки порушення зобов'язання, яке виникає з такого договору. Проаналізовано особливості правового регулювання окремих різновидів договорів на користь третіх осіб, зокрема, договору управління майном, договору довічного утримання, договору банківського вкладу, договорів страхування. Запропоновано пропозиції щодо вдосконалення законодавства України у сфері правового регулювання договорів на користь третіх осіб. Скачати повний текст
Індекс рубрикатора НБУВ: Х839(4УКР)201 Шифр НБУВ: РА373217 Пошук видання у каталогах НБУВ
Рубрики:
Географічні рубрики:
|
| | | | |
6. |
Кузьмич А.Я. Дослідження процесу сепарації дрібного зерносоломистого вороху та обгрунтування параметрів робочих органів очисток комбайнів: Автореф. дис... канд. техн. наук: 05.05.11 / А.Я. Кузьмич ; УААН. Нац. наук. центр "Ін-т механізації та електрифікації сіл. госп-ва". — Глеваха, 2003. — 18 с.: рис. — укp.Розглянуто існуючі конструкції очисток і сепаруючих поверхонь комбайнів. Встановлено їх недоліки, які полягають у недостатній продуктивності, низькій надійності, і є одними з головних джерел втрат зерна у комбайні. На підставі теоретичних та експериментальних досліджень обгрунтовано доцільність уніфікації сепаруючих поверхонь. Розроблено конструкцію уніфікованих сепаруючих поверхонь, визначено їх раціональні параметири. Скачати повний текст
Індекс рубрикатора НБУВ: П072.831-9 + Шифр НБУВ: РА324307
Рубрики:
|
| | | | |
7. |
Кузьмич О. Г. Інформаційно-аналітичне забезпечення розвитку підприємств побутового обслуговування: автореф. дис. ... канд. екон. наук : 08.00.04 / О. Г. Кузьмич ; Херсон. нац. техн. ун-т. — Херсон, 2011. — 21 с. — укp.Вперше розроблено методичні засади формування системи інформаційно-аналітичної підтримки управлінських рішень на підприємствах побутового обслуговування, яка виступає як інтеграція взаємопов'язаних процесів: обгрунтування показників-індикаторів, прогнозування тенденцій розвитку ринку побутових послуг, формування можливих засобів впливу на об'єкт управління, що надає можливість підвищити ефективність управлінських рішень менеджерів, які працюють у сфері побутових послуг. Удосконалено методологічну схему моніторингу діяльності підприємств побутового обслуговування, у якій, на відміну від існуючих, передбачено: контур створення або модифікації системи методичного й інформаційного забезпечення і контур збору й аналізу інформації в системі моніторингу, що надає можливість формалізувати результати моніторингу та синтезувати їх в управлінські рішення. Скачати повний текст
Індекс рубрикатора НБУВ: У9(4УКР)442.1 Шифр НБУВ: РА382682 Пошук видання у каталогах НБУВ
Рубрики:
Географічні рубрики:
|
| | | | |
8. |
Кузьмич Л.В. Підвищення надійності та удосконалення елементів закритої мережі осушувальної системи (в умовах Західного Полісся України): Автореф. дис... канд. техн. наук: 06.01.02 / Л.В. Кузьмич ; Ін-т гідротехніки і меліорації УААН. — К., 2006. — 18 с. — укp.Розглянуто питання забезпечення та підвищення надійності закритої мережі осушувальної системи, наведено класифікації причин аварійних ситуацій та відмов елементів даних систем, а також факторів, що впливають на їх надійність. Визначено типи теоретичних законів розподілу надійності в часі для елементів закритої осушувальної мережі, розроблено метод розрахунку їх надійності на основі аналітичних, польових та лабораторних досліджень, гідравлічних, математичних та імовірнісно-фізичних розрахунків. Описано нові конструкції дренажних колодязів та гирлових споруд, обгрунтовано терміни проведення капітальних ремонтів для даних конструкцій. Скачати повний текст
Індекс рубрикатора НБУВ: П063.3(4УКР) + Шифр НБУВ: РА343045
Рубрики:
Географічні рубрики:
|
| | | | |
9. |
Кузьмич О.І. Стійкість логіко-динамічних систем з часовим перемиканням: автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук: 01.05.02 / О.І. Кузьмич ; Київ. нац. ун-т ім. Т.Шевченка. — К., 2007. — 18 с. — укp.Розроблено методи дослідження динаміки процесів, що моделюються сукупністю диференціальних і різницевих рівнянь, які поєднані логічними законами перемикання. Основну увагу приділено вивченню ключової якісної властивості таких систем - їх стійкості, показано її суттєве значення у проектуванні систем керування. Досліджено поведінку розв'язку й одержано оцінки стійкості логіко-динамічної системи з часовим перемиканням, яка складається з підсистем, що описуються системами лінійних диференціальних рівнянь зі сталими коефіцієнтами, а також дискретних рівнянь. Одержано оцінки розв'язку логіко-динамічної системи, яка складається з підсистем, що описуються системами лінійних диференціальних і дискретних рівнянь із запізненням. Наведено оцінки розв'язку систем рівнянь нейтрального типу. Розроблено модель прискорювальної системи руху тіла з трьома степенями свободи під дією безконтактних сил і здійснено оцінку її розв'язку аналітичним методом та за допомогою чисельного експерименту. З'ясовано, що проблема динамічної поведінки вільних об'єктів, особливо стійкості траєкторії, виникає у ряді задач, зокрема, для систем прискорення заряджених частинок, а також прискорення або гальмування магніто-левітуючого транспорту. Теоретичні результати, одержані для лінійних систем, підтверджено експериментальними даними моделювання динаміки системи з часовим перемиканням. Скачати повний текст
Індекс рубрикатора НБУВ: В161.618.1,0 + Шифр НБУВ: РА354286
Рубрики:
|
| | | | |
10. |
Кузьмич І.В. Фізико-хімічні властивості Сu- та Cu, Pd-вмісних цеолітних каталізаторів реакції окиснення СО: Автореф. дис... канд. хім. наук: 02.00.04 / І.В. Кузьмич ; Київ. нац. ун-т ім. Т.Шевченка. — К., 2005. — 18 с. — укp.Досліджено фізико-хімічні властивості нанесених та іонообмінних моно-(Cu-) та біметалвмісних (Cu,Pd-) цеолітних каталізаторів на основі ZSM-5 і еріоніту (ERI) з різним вмістом металів, а також їх каталітичну активність в реакції окиснення CO. Установлено, що активними центрами для 10 %Cu-цеолітів є дрібнодисперсні частинки активної фази CuO. Для каталізаторів з низьким вмістом міді (1,8 %Cu) для ZSM-5, 3 %Cu для ERI) за методами ЕПР, ЕСДВ, термопрограмованого відновлення й інфрачервоної спектроскопії установлено причини різної каталітичної активності - наявність певного розподілу та локалізації катіонів міді та різної адсорбційної здатності до CO. Показано, що для найбільш активної системи 1,8 %CuZSM-5 характерним є утворення асоціатів координаційно-ненасичених катіонів міді в оточенні позаграткового кисню. Установлено, що введення другого металу (Pd) підвищує активність металвмісних каталізаторів внаслідок утворення Cu - Pd-асоціатів. Вивчено кінетичні закономірності та механізм реакції окиснення CO на Cu/ZSM-5 та Cu - Pd/ZSM-5, обгрунтовано кінетичне рівняння та показано, що експериментальні дані узгоджуються з механізмом Ілі - Ріділа. Скачати повний текст
Індекс рубрикатора НБУВ: Г124.131-27 + Г544.328,0 + Шифр НБУВ: РА337575
Рубрики:
|
| | | | |
11. |
Кузьмич А.Г. Фототермоакустична та фотоелектрична мікроскопія напівпровідникових структур на основі кремнію: Автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук: 01.04.07 / А.Г. Кузьмич ; Київ. нац. ун-т ім. Т.Шевченка. — К., 2002. — 19 с. — укp.Створено комп'ютеризований сумісний фототермоакустичний (ФТА) та фотоелектричний (ФЕ) мікроскоп, принцип дії якого базується на використанні одночасно збуджених теплових хвиль і хвиль нерівноважних електронно-діркових пар як носіїв інформації про властивості напівпровідників. Вивчено напівпровідникові структури кремнію: епітаксійні з різним типом провідності, імплантовані іонами бору та фосфору, а також пружно напружену область поблизу вершини тріщини в пластині кремнію. Одержано ФТА та ФЕ топограми. Досліджено пластини кремнію, імплантовані іонами за методами ФТА мікроскопії та виміру зміни коефіцієнта відбиття напівпровідників під дією модульованого лазерного опромінювання. Проведено порівняльний аналіз ФТА та ФЕ зображень вказаних структур на підставі результатів якого встановлено, що візуалізація тепловими хвилями областей епітаксійного нарощування та іонної імплантації в структурах на основі кремнію зумовлена залишковими пружними напругами, які виникають за умов технологічного циклу їх виготовлення. Скачати повний текст
Індекс рубрикатора НБУВ: В379.271.4,022 + В379.271.51,022 + В343.53,022 Шифр НБУВ: РА317825 Пошук видання у каталогах НБУВ
Рубрики:
|
| | | | |
12. |
Кузьмич Л. В. Методи та засоби вимірювання напружень та деформацій складних конструкцій приладовою системою / Л. В. Кузьмич. — Б.м., 2019 — укp.У дисертаційній роботі вперше запропоновано нову технологію побудови приладів для вимірювання механічних величин інтелектуальними датчиками на базі ТЕDS, яка дає змогу підвищити метрологічні характеристики приладової системи. Розроблено метод автоматичної безрозривної корекції систематичної складової похибки дистанційного вимірювання напружено–деформованого стану на базі аналогових інтерфейсів для тензодатчиків. Дістали подальший розвиток теоретичні основи аналізу приладової системи на основі системного підходу та синтезу вимірювальної інформації про напружено–деформований стан. Дістали подальший розвиток теоретичні основи розробки приладових систем, у тому числі удосконалено математичну модель процесу дистанційного вимірювання параметрів напружено–деформованого стану. Удосконалено математичну модель процесу дистанційного вимірювання параметрів напружено–деформованого стану складних технічних конструкцій. Удосконалено модель аналогового інтерфейсу для дистанційних вимірювань сигналів тензодатчиків з автоматичною корекцію похибки. Набув подальшого розвитку метод і удосконалені засоби захисту вимірювального каналу від завад нормального виду. Удосконалено математичну модель на базі вимірювального підсилювача з диференціально–струмовими входами для роботи з тензодатчиком.^UThe following new scientific results have been obtained in the dissertation. For the first time a new technology of construction of devices for measuring mechanical quantities of work with intellectual sensors on the basis of TED is proposed. For the first time, a method of automatic inseparable correction of the systematic component of the error of the remote measurement based on analog interfaces for strain gauges is developed. Theoretical foundations for the development of instrument systems of complex technical structures were further developed, including the mathematical model of the process for the remote measurement of the parameters of the stress - strain state, and a method for measuring deformations and stresses taking into account the structure of the sensor. The mathematical model of the process of remote measurement of the parameters of stress - strain state of complex technical structures has been improved. Analog interface model for remote measurement of strain gauge signals with automatic error correction under the influence of various destabilizing factors, oriented on remote measurement of stress - strain state parameters by means of multiplexer and resistive strain gauge. The method and advanced means of protection of the measuring channel of parameters of the stress - strain state from interferences of the normal kind have been further developed. The mathematical model on the basis of the measuring amplifier with differential current inputs for work is improved. Шифр НБУВ: 05 Пошук видання у каталогах НБУВ
|
| | | | |
13. |
Сидоренко С. Б. Імпульсний розряд в схрещених полях для отримання покриттів з розгалуженою поверхнею / С. Б. Сидоренко. — Б.м., 2021 — укp.Сидоренко С.Б. "Імпульсний розряд в схрещених полях для отримання покриттів з розгалуженою поверхнею" – Рукопису.Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата технічних наук (доктора філософії) за спеціальністю 05.27.02 "Вакуумна, плазмова та квантова електроніка". Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського". Київ, 2021.Дисертаційна робота присвячена отриманню покриттів з розгалуженою поверхнею при використанні імпульсного розряду в схрещених електромагнітних полях. Розглянуто вплив імпульсного режиму термоіонного осадження на властивості покриттів.Показано комплексний підхід до розробки технологічних імпульсних модуляторів, дослідження їх в складі системи генерації плазми та процесу транспортування речовини, а також дослідженні утворених покриттів.Представлено спосіб отримання розвинутої поверхні на алюмінієвій фользі під час імпульсного іонно-плазмового осадження алюмінію в середовищі кисню. Визначено залежність морфології покриття з конденсату Al O від відношення тиску кисню у вакуумній камері до швидкості осадження (PO2/Vк ). Зазначено, що питома ємність покриття з конденсату Al O, яка використовувалась як міра розгалуженості поверхні, від PO2/Vк має екстремальний характер і сягає 150 мкФ/см2 (при цьому для гладкої алюмінієвої фольги питома ємність С0 = 0,6 мкФ/см2) для PO2/Vк 2,1⋅10 1 Па⋅хв/мкм.Розглянуто розряд МРС, джерелом живлення якої є розроблений ТІМ. За допомогою діаграм показано та проаналізовано розвиток та існування імпульсного магнетронного розряду з підготовчим розрядом та без нього. Експериментально продемонстровано вплив імпульсного розряду на структуру покриття.Представлені електричні схеми та їх моделі з моделями комутуючих елементів ТІМ.Розробка імпульсних модуляторів, дослідження їх в складі систем імпульсної генерації плазми підчас осадження, а також дослідження отриманих покриттів дозволяє оптимізувати схеми та режими роботи ТІМ і краще зрозуміти процеси, які відбуваються при переносі речовини на об'єкт напилення в технологічній камері та на поверхні створення покриття, це, в свою чергу, дає можливість керувати структурою покриття, що було продемонстровано в роботі.Ключові слова: покриття з розгалуженою поверхнею, імпульсний розряд в схрещених полях, імпульсний модулятор, іонно-плазмове осадження, термоіонне осадження, імпульсне магнетронне розпилення, електронно-променеве випаровування, питома ємність конденсаторної фольги.^USidorenko S.B. "Pulsed discharge in crossed fields for obtaining coatings with a voluminous surface" – Qualifying scientific work on the manuscript.Ph.D. thesis on speciality for candidate's degree of technical science05.27.02 "Vacuum, plasma and quantum electronics".National Technical University of Ukraine "Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute", Kyiv, 2021The dissertation is devoted to obtaining coatings with a voluminous surface using a pulsed discharge in crossed electromagnetic fields. The influence of the pulsed regime of thermoionic deposition on the properties of coatings is considered.The complex way to the development of technological pulse modulators (TPM), their study as part of a plasma generation system and the substance transport process, and the study of the received coatings are shown.A method for obtaining a voluminous surface on an aluminum foil during pulsed ion-plasma deposition of aluminum in an oxygen environment is presented. The dependence of the morphology of the Al O condensate coating from the ratio of oxygen pressure in the vacuum chamber to the deposition rate (PO2/Vс) was determined. It is noted that the specific capacitance of the Al O condensate coating, which was used as a measure of the surface voluminousness, has an extreme character from PO2/Vс and reaches 150 μF/cm2 (while for smooth aluminum foil, the specific capacitance C0 = 0.6 μF/cm2) for PO2/Vс 2,1⋅10 1 Pa⋅min./μm.The discharge of the magnetron sputtering system, the power source of which is the designed TPM was considered. Using diagrams, the development and existence of a pulsed magnetron discharge with and without a preparatory discharge are shown and analyzed. The effect of a pulsed discharge on the coating structure has been experimentally demonstrated.Electric circuits and their models with models of TPM switching elements are presented.The development of pulse modulators, their study as part of systems for pulsed plasma generation during deposition, as well as the study of the obtained coatings, allows to optimize the schemes and operating modes of the TPM and to better understand the processes that occur when a substance is transferred to the deposition object in the technological chamber and on the surface of the coating being created, this, in turn, makes it possible to control the structure of the coating, which was demonstrated in the work.Keywords: coating with voluminous surface, pulse discharge in crossed fields, pulse modulator, ion-assisted deposition, thermoionic deposition, pulsed magnetron sputtering, electron-beam evaporation, specific capacity of capacitor foil. Шифр НБУВ: 05 Пошук видання у каталогах НБУВ
|
| | | | |
14. |
Перевертайло В. В. Резонансні надвисокочастотні системи у допробійному електричному режимі / В. В. Перевертайло. — Б.м., 2021 — укp.В дисертації розв'язано актуальну науково-прикладну задачу розробки наукових і технічних основ побудови і практичного використання резонансних НВЧ систем у допробійному електричному режимі для електрофізичної та технологічної апаратури з поліпшеними показниками. Для цього досліджувалися:- принципи побудови та характеристики резонансних НВЧ систем типу "розрізане кільце" та його модифікації багатокільцевого резонатора з усестороннім збудженням та спільним розрядним зазором за високого тиску робочого газу та з безпровідним НВЧ живленням;- принципи побудови та характеристики резонансної НВЧ системи розрядно-камерного типу;- характеристики високоенергетичних нейтральних атомів, відбитих від поверхні елементів розрядної камери резонансної НВЧ системи при іонному бомбардуванні. Були одержані такі нові наукові результати: Вперше отримано результати моделювання напруженості електричного поля у резонаторі типу "розрізане кільце", розрахованому на резонансну частоту 2,45 ГГц для роботи за високого тиску робочого газу, при цьому застосовується, замість провідного, безпровідне НВЧ енергоживлення. Максимальна напруженість поля виникає у локалізованій області зазору резонатора, що підтверджено експериментально.Вперше запропоновано та досліджено багатокільцевий резонатор з усестороннім збудженням (як модифікацію резонатора типу "розрізане кільце") у вигляді системи ортогональних розрізаних кілець, що утворюють спільний розрядний зазор, для робочої частоти 2,45 ГГц та отримані результати моделювання напруженості електричного поля у його зазорі в залежності від потужності НВЧ живлення. Вперше отримано результати фізико-топологічного 3D моделювання розподілу напруженості електричного поля у резонаторі розрядно-камерного типу з урахуванням його геометрії та параметрів матеріалів конструктивних елементів системи за умови поширення в ній основного типу коливань Н11, що дозволило розробити та сконструювати НВЧ резонатор розрядно-камерного типу для роботи за частоти 2,45 ГГц за низького тиску робочого газу у технологічних цілях: іонізація газу для генерації пучків іонів та високоенергетичних нейтральних частинок у електрофізичних і технологічних пристроях. Вперше отримано результати залежності між потужністю НВЧ генератора та напруженістю поля, що виникає у резонаторі розрядно-камерного типу за низького тиску робочого газу у допробійному електричному режимі, з урахуванням провідності стінок камери хвилеводного тракту, наявності діелектричної вставки та геометрії системи в цілому шляхом фізико-топологічного 3D моделювання. Такий підхід дозволив найбільш точно встановити потужність НВЧ живлення, необхідну для виникнення напруженості електричного пробою та ініціювання газового розряду в системі. Був успішно випробуваний в експериментальному виробництві багатошарового плівкового покриття у складі магнетронної розпилювальної системи (МРС) розроблений НВЧ резонатор розрядно-камерного типу у якості активатора газу. Запропоноване технологічне застосування розробленого приладу дозволило понизити робочий тиск МРС в цілому. У конструкції розробленого технічного рішення реалізовані результати нових досліджень і отриманих даних по коефіцієнтам відбиття частинок та енергій для іонів кисню та аргону при різних кутах падіння на металеві частини конструкції системи.^UThe scientific and applied problems of development of scientific and technical bases of construction and practical use of resonant ultrahigh-frequency systems in pre-breakdown electric mode for technological equipment are solved in the thesis. In this regard, the following subjects have been studied: - construction principles and characteristics of "split ring" type resonant ultrahigh-frequency systems with its modification at high pressure with wireless microwave power consumption;- construction principles and characteristics of waveguide-type resonant ultrahigh-frequency systems with transverse electric field at low pressure with special dielectric insertion;- characteristics of the fast neutral atoms flux reflected from the resonator discharge chamber surface and its elements during ion bombardment, in particular the particles reflection coefficient RN and energy reflection coefficient RE for oxygen and argon ions at different flux incidence angles and respective effect inside the discharge chamber on resonator elements.The following new scientific results were obtained:For the first time results of the electric field strength simulation in resonator of the "split ring" type designed for the resonant frequency of 2.45 GHz with a wireless power supply for operation at high pressure have been obtained. The maximum field strength occurs in the localized region of the resonator gap, which was confirmed experimentally. For the first time the omnidirectional resonant ultrahigh-frequency system (as a modification of the "split ring" type resonator) for the operating frequency of 2.45 GHz was developed and the results of the electric field strength simulation in its gap depending on the microwave power value were obtained.For the first time results of the electric field strength in the waveguide-type resonator for main mode of H11 type by physical and topological 3D simulation have been obtained which allowed to develop and design an ultrahigh-frequency resonator to operate at 2.45 GHz at low pressure for technological purposes: starting from gas excitation and/or ionization and up to beams of neutral particles generating. Application of the developed models allows to increase accuracy of predesign and the automated construction and final design.For the first time results of electric field strength (in the waveguide-type resonator in the pre-breakdown electric mode) dependence on microwave generator power taking into account the walls material conductivity of the waveguide chamber and the whole system geometry by physico-topological 3D simulation have been obtained. Such approach allowed to most accurately determine the microwave power required to breakdown voltage in the system, that is reduced the power supply of the developed waveguide resonator. The results of the calculation were confirmed by experiment. The waveguide-type resonator as a gas activator was successfully tested in experimental industrial production as part of a microwave magnetron sputtering system (MSS). Such technological realization allowed to reduce the MSS operating pressure, which was a problem before integration of the proposed resonant ultrahigh-frequency system. There are results of new research and the obtained data on the reflection coefficients of particles and energies for oxygen and argon ions at different incidence angles on the metal parts of the system are realized in the new technical solution. Шифр НБУВ: 05 Пошук видання у каталогах НБУВ
|
|
|